p60系列z向大行程直線微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)p60.z500是以壓電陶瓷為驅(qū)動(dòng)源，并采用放大機(jī)構(gòu)的一維z向運(yùn)動(dòng)的大行程直線微運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，是壓電與柔性鉸鏈相結(jié)合的納米定位系統(tǒng)，可達(dá)毫秒級(jí)響應(yīng)、納米級(jí)定位精度，并可選配高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)精密定位控制。該產(chǎn)品非常適于定位應(yīng)用，如干涉中光路徑長度修正、顯微或掃描應(yīng)用中的樣品定位等，已廣泛應(yīng)用于干涉、顯微、精密加工等領(lǐng)域。
p60.z500系列壓電掃描臺(tái)，采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，可實(shí)現(xiàn)500μm的運(yùn)動(dòng)行程，優(yōu)異的結(jié)構(gòu)可承載2kg的負(fù)載，空載諧振頻率達(dá)290hz。
帶載階躍時(shí)間
p60.z500s 帶載350g時(shí)，階躍時(shí)間200ms。
技術(shù)參數(shù)
型號(hào)：p60.z500
運(yùn)動(dòng)自由度：z
行程范圍（0~120v）：400μm
行程范圍（0~150v）：500μm
閉環(huán)傳感器：sgs
閉/開環(huán)分辨率：20/5nm
閉環(huán)線性度:0.1%f.s.
閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.05%f.s.
空載諧振頻率：290hz
承載能力：2kg
靜電容量：28.8μf
材質(zhì)：鋼、鋁
重量（不含線）：0.65kg