teledyne公司的dv-4和dv-6熱電偶真空計(jì)管,生產(chǎn)具有優(yōu)異的穩(wěn)定性,準(zhǔn)確性和在苛刻條件下的可靠性真空測(cè)量設(shè)備。這些真空傳感器校準(zhǔn)的氮?dú)饣蚩諝?對(duì)其他氣體換算系數(shù)是由工廠提供。
vt系列測(cè)量?jī)x表需單獨(dú)購(gòu)買:vt4系列, vt5系列, vt6系列
dv-6
teledyne hastings熱偶規(guī)管真空計(jì)dv-4d
特性
•現(xiàn)場(chǎng)使用的可靠性 •量程- 0.001托- 1托 (1 - 1000毫托) •控制點(diǎn)可選
附件
•nist的的溯源的儀表校準(zhǔn)規(guī)管 •快速連接 •裝置和過(guò)濾器 •延長(zhǎng)電纜
應(yīng)用
•研究與開(kāi)發(fā) 半導(dǎo)體工藝 •等離子鍍膜/濺射 •低溫罐/杜瓦瓶 •真空爐 •二次灌注氣瓶 •負(fù)載鎖 •照明/霓虹燈招牌 •化學(xué)加工
熱偶規(guī)管(傳感器)
規(guī)格
dv-4系列熱偶規(guī)
dv-5系列熱偶規(guī)
dv-6系列熱偶規(guī)
配置測(cè)量器/讀數(shù)儀
vt-4
vt-5
vt-6
儀表校準(zhǔn)規(guī)
db-16d
db-18
db-20
量程
0.01 - 20 torr (100 - 20,000 mtorr)
0.0001 - 0.1 torr (0.1 - 100 mtorr)
0.001 - 1 torr (1 - 1,000 mtorr)
敏感區(qū)間
0.2 - 5 torr (200 - 5000 mtorr)
0.0001 - 0.1 torr (0.1 - 100 mtorr)
0.001 - 1 torr (10 - 200 mtorr)
響應(yīng)時(shí)間(秒)大氣壓- 0
0.16
25
2.9
響應(yīng)時(shí)間(秒)0 –大氣壓
0.04
0.8
0.06
系列成員
標(biāo)準(zhǔn)型
dv-4d
dv-5m
dv-6m
加固型
dv-4r
-
dv-6r
vcr
dv-4d-vcr
dv-5m-vcr
dv-6m-vcr
vcrl (長(zhǎng))
-
-
dv-6m-vcrl
kf-16
dv-4d-kf 16
-
dv-6m-kf16
kf-25
dv-4d-kf 25
-
dv-6m-kf 25
小型conflat
-
-
dv-6m-cf
高溫型
dv-34
-
dv-36
加固/抗震帶室外防護(hù)殼
-
-
dv-6s
耐熱玻璃
-
-
dv-20
約重
0.1-0.2 lbs(45-91g) 根據(jù)不同型號(hào)
0.1-0.2 lbs(45-91g) 根據(jù)不同型號(hào)
0.1-0.3 lbs(45-13.6g) 根據(jù)不同型號(hào)
nall系列質(zhì)量流量計(jì) 量程從0-10 sccm至0-14,000slm 特征: ◆ 耐高溫到200攝氏度 ◆ 不銹鋼結(jié)構(gòu) ◆ 防腐蝕蒙乃爾可供選擇 ◆ 滿量程范圍:0-10 sccm至0-14,000slm ◆ 工作壓力到1000psig ◆ 密封傳感器 ◆ 15段流量范圍 ◆ 20%溫度或壓力變化無(wú)需校正 ◆ hastings原創(chuàng)質(zhì)量流量測(cè)量器精度:±1%量程(壓力和溫度變化20%)線性度:1%量程重復(fù)精度:±0.25% 滿量程溫度:氣體溫度-20°c至 100°c,轉(zhuǎn)換器和指示器的環(huán)境溫度0°c 至 40°c電源:115伏交流電,50/60赫茲- 15瓦。對(duì)于230伏,電源型號(hào)添加“e”字的輸出:0-5伏直流負(fù)載2000歐姆或更大。材質(zhì):316ss,或者蒙乃爾銅鎳合金,金/鎳釬焊校準(zhǔn):直讀是空氣。訂購(gòu)時(shí)可以選擇氧氣、氮?dú)?、氦氣、二氧化碳、等其他氣體校準(zhǔn)響應(yīng)時(shí)間:
teledyne hfm/hfc -d-300流量計(jì)
300 - d系列質(zhì)量流量?jī)x器,量程從0-5 sccm至0-3,000slm;使用全金屬密封,提供模擬輸出,且采用不銹鋼構(gòu)造。質(zhì)量流量控制器為常閉閥門。腐蝕性氣體(除鹵素外),壓差達(dá)1000 psig中(選項(xiàng))可輕松測(cè)量。 傳感器,閥門和流量過(guò)載等自我診斷功能都包括在數(shù)字特征里面。同樣值得關(guān)注的是自動(dòng)歸零特點(diǎn),當(dāng)發(fā)現(xiàn)閥門關(guān)閉時(shí)會(huì)自動(dòng)重置零點(diǎn)。此系列質(zhì)量流量計(jì)和控制器,多可以存儲(chǔ)10個(gè)不同的量程范圍和氣體的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)。當(dāng)測(cè)量同數(shù)量級(jí)(流速,分子量)不同的氣體,改變氣體時(shí),本儀器具備經(jīng)濟(jì)優(yōu)勢(shì)和更率。另一個(gè)特點(diǎn)是內(nèi)置的累加器,用于監(jiān)測(cè)用戶設(shè)置的條件下氣體損耗量。 特征: •+/-(0.5%讀數(shù)值+ 0.2%滿量程)為0 - 2,500slm •經(jīng)驗(yàn)證的可靠性 •量程5 sccm至3,000slm(氮?dú)? •nist可溯源校準(zhǔn) •內(nèi)置積算器 •自動(dòng)歸零 應(yīng)用: •大學(xué)研究 •泄漏檢測(cè) •氣相沉積 •制藥制程 •研發(fā)和制程流量 •半導(dǎo)體工藝 •氣體混合 •熱火焰噴涂 •真空應(yīng)用中的關(guān)鍵配件 300-d系列質(zhì)量流量計(jì)和控制器規(guī)格(基于氮?dú)? 標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力- 0 ° c和760torr [table] [tr] [td] 規(guī)格 [/td] [td] 質(zhì)量流量計(jì)控制器 hfm-d-300 hfc-d-302 [/td] [td] 質(zhì)量流量計(jì)控制器 hfm-d-301 hfc-d-303 [/td] [td] 質(zhì)量流量計(jì)控制器 hfm-d-305 hfc-d-307 [/td] [/tr] [tr] [td] 使用手冊(cè) [/td] [td]hfm-d-300 /hfc-d-302[/td] [td]hfm-d-301 /hfc-d-303[/td] [td]hfm-d-305 /hfc-d-307[/td] [/tr] [tr] [td] 量程 [/td] [td] 0-5 sccm 到 0-25,000 sccm [/td] [td] 0-25 slm 到 0-1000 slm [/td] [td] 0-1000 slm 到 0-3,000 slm [/td] [/tr] [tr] [td] 精度 [/td] [td] +/- (0.5% 讀數(shù)值 + 0.2% 滿量程) [/td] [td] +/- (0.5% 讀數(shù)值 + 0.2% 滿量程) [/td] [td] +/- (0.5% 讀數(shù)值 + 0.2% 滿量程) +/-2% 滿量程for 2,500 - 3,000 slm [/td] [/tr] [tr] [td] 重復(fù)精度 [/td] [td] +/-0.1% 滿量程 [/td] [td] +/-0.1% 滿量程 [/td] [td] +/-0.1% 滿量程 [/td] [/tr] [tr] [td] 標(biāo)準(zhǔn)工作壓力 [/td] [td] 500 psig(約3.4mpa) [/td] [td] 500 psig(約3.4mpa) [/td] [td] 500 psig(約3.4mpa) [/td] [/tr] [tr] [td] 壓力系數(shù) [/td] [td] +0.01%/psi(約6800pa)讀數(shù)值 (0-50 psig n2) 典型 [/td] [td] +0.01% 讀數(shù)值/ps(約6800pa)i (0-1000 psig n2) 典型 [/td] [td] +0.015%/psi(約6800pa)(0-500 psig n2) [/td] [/tr] [tr] [td] 耐壓選項(xiàng) [/td] [td] 1000 psig (測(cè)試達(dá)到1500 psig) [/td] [td] 1000 psig [/td] [td] 無(wú) [/td] [/tr] [tr] [td] 溫度系數(shù) [/td] [td] 零點(diǎn)