芯明天致力于納米級精密定位與運(yùn)動產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售，已經(jīng)發(fā)布了多種用于顯微計(jì)量學(xué)的掃描控制系統(tǒng)解決方案，包含高精密快速掃描的壓電納米定位臺及小體積數(shù)字式伺服控制器。p78.z100壓電顯微樣品臺
p78系列壓電顯微樣品臺可以帶動樣品以亞納米級分辨率進(jìn)行高速掃描與定位，是顯微計(jì)量學(xué)和高分辨率顯微鏡應(yīng)用的重要功能。配置閉環(huán)傳感器，對位移實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)測并反饋給閉環(huán)壓電控制器，實(shí)現(xiàn)納米級精密控制及超高線性度和穩(wěn)定性。無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)確保實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng)、高剛度及毫秒級響應(yīng)時(shí)間，緊湊的外形結(jié)構(gòu)易于集成到顯微儀器設(shè)備中。
特性
· 一維z軸運(yùn)動
· 運(yùn)動行程100μm
· 閉環(huán)sgs傳感器
· 分辨率可達(dá)4nm
· 通孔尺寸120×70mm
· 空載階躍時(shí)間5ms
· 空載諧頻200hz
· 承載能力1kg
· 外形尺寸：154×136×25mm
e53.d數(shù)字式伺服控制器
與傳統(tǒng)的控制器相比，數(shù)字式伺服壓電控制器具有更高的線性度，操作簡單以及易于控制的優(yōu)點(diǎn)。e53系列控制器，體積小巧，結(jié)構(gòu)緊湊，且提供了快速響應(yīng)的實(shí)時(shí)修正，通過優(yōu)化傳感伺服模塊從而提高了pi調(diào)節(jié)與控制的精準(zhǔn)度與穩(wěn)定性，可靠的抗干擾設(shè)計(jì)保證了控制器的高頻響應(yīng)速度，從而實(shí)現(xiàn)納米定位臺精確、穩(wěn)定的運(yùn)動。
特性
· 一通道 閉環(huán)控制
· 0~120/150v輸出
· 平均電流60ma
· 放大器帶寬10khz
· 通信接口：usb/rs-422/rs-232
· 重量：350g
· 外形尺寸：148×27.5×80mm