原子熒光光譜分析法（afs）是20世紀六十年代中期以后發(fā)展起來的一種新的痕量分析方法。原子蒸氣受到具有特征波長的光源照射后，其中一些自由原子被激發(fā)躍遷到較高能態(tài)，然后活回到某一較低能態(tài)（常常是基態(tài)）而發(fā)射出的特征光譜叫做原子熒光。各種元素都有其特定的原子熒光光譜，根據(jù)原子熒光強度的高低可測得試樣中待測元素的含量。
1964年，winefordner和vickers等人提出并論證了原子熒光光譜法可作為一種新的化學(xué)分析方法。自20世紀70年代以來，國內(nèi)外許多專家、學(xué)者、企業(yè)共同致力于原子熒光光譜商品化儀器的研制和開發(fā)。
美國technicon公司于1976年生產(chǎn)出*一臺原子熒光光譜儀afs- 6，它采用脈沖調(diào)制空心陰極燈作光源，以計算機作控制和數(shù)據(jù)處理，能同時測定6個元素。20世紀80年代初，美國baird公司研制出afs-2000型多道無色散原子熒光光譜儀，它采用電感耦合等離子體(icp)作原子化器，可12道同時檢測。此后，國外原子熒光商品化儀器的發(fā)展非常緩慢。直到1993年，才有英國psa公司生產(chǎn)的蒸氣發(fā)生-無色散原子熒光儀器，它能同時檢測as、sb、bi、hg、se、te等6種元素。90年代末，加拿大aurora公司推出一款氫化物發(fā)生-無色散原子熒光儀(hg—afs)。21世紀初，美國leeman labs公司和德國analytik jena公司分別研制并推出原子熒光測汞儀。
我國從20世紀70年代中期開始研制原子熒光光譜儀器，原子熒光技術(shù)及其商品化儀器在我國得到飛速發(fā)展和普及推廣。1975年，西北大學(xué)研制出以低壓汞燈作光源的冷原子熒光測汞儀；同期，中科院上海冶金研究所研制出用高強度空心陰極燈作光源、氮隔離空氣-乙炔火焰作原子化器的雙道無色散afs儀。1979年，西北有色地質(zhì)研究院成功研制了以溴化物無極放電燈作激發(fā)光源的hg afs儀，為原子熒光光譜儀在我國成功實現(xiàn)商品化奠定了重要基礎(chǔ)；該院隨后研制開發(fā)了wyd、xdy-1等雙道afs儀。1987年，劉明鐘等人成功研制了脈沖供電特制空心陰極燈，這種高性能激發(fā)光源為hg -afs儀在我國的普及推廣創(chuàng)造了條件；在此基礎(chǔ)上研制生產(chǎn)的xdy-2無色散hg-afs儀以屏蔽式高溫石英爐作原子化器，手動進樣、雙道同時檢測、微機控制，堪稱為我國afs發(fā)展*具有里程碑意義的儀器。1996年我國推出了款全自動afs-230型hg—afs儀，采用斷續(xù)流動進樣裝置，實現(xiàn)了氫化物發(fā)生反應(yīng)的自動化。隨后，我國相繼研制生產(chǎn)出afs-610、afs一230、sk一800、afs一2202、afs一830、afs一9800、sk-銳析、afs- 930、afrohs-400等高靈敏商品化原子熒光儀，使得我國hg afs儀的研制和應(yīng)用水平，處于先進地位。