濕度傳感器的特性參數(shù)主要有：濕度量程、靈敏度、溫度系數(shù)、響應(yīng)時(shí)間、濕滯回差、感濕特征量-相對(duì)濕度特性曲線等。
(1) 濕度量程：它是指濕度傳感器能夠較精確測量的環(huán)境濕度的最大范圍。由于各種濕度傳感器所使用的材料及依據(jù)的工作原理不同，其特性并不都能適用于0～100%rh的整個(gè)相對(duì)濕度范圍。
(2) 感濕特征量-相對(duì)濕度特性曲線： 濕度傳感器的輸出變量稱為其感濕特征量， 如電阻、電容等。 濕度傳感器的感濕特征量隨環(huán)境濕度的變化曲線， 稱為傳感器的感濕特征量-環(huán)境濕度特性曲線， 簡稱為感濕特性曲線。 性能良好的濕度敏感器件的感濕特性曲線， 應(yīng)有寬的線性范圍和適中的靈敏度。
(3) 靈敏度：濕度傳感器的靈敏度即其感濕特性曲線的斜率。大多數(shù)濕度敏感器件的感濕特性曲線是非線性的， 因此尚無統(tǒng)一的表示方法。 較普遍采用的方法是用器件在不同環(huán)境濕度下的感濕特征量之比來表示。
(4) 濕度溫度系數(shù)： 它定義為在器件感濕特征量恒定的條件下，該感濕特征量值所表示的環(huán)境相對(duì)濕度隨環(huán)境溫度的變化率， 即
因此，環(huán)境溫度將造成測濕誤差。 例如，α=0.3％rh/℃時(shí)， 環(huán)境的溫度變化20℃，將引起6％rh的測濕誤差。
(5) 響應(yīng)時(shí)間： 它表示當(dāng)環(huán)境濕度發(fā)生變化時(shí)， 傳感器完成吸濕或脫濕以及動(dòng)態(tài)平衡過程所需時(shí)間的特性參數(shù)。 響應(yīng)時(shí)間用時(shí)間常數(shù)τ來定義， 即感濕特征量由起始值變化到終止值的0.632倍所需的時(shí)間?？梢?， 響應(yīng)時(shí)間是與環(huán)境相對(duì)濕度的起、止值密切相關(guān)。
(6) 濕滯回線和濕滯回差：一個(gè)濕度傳感器在吸濕和脫濕兩種情況下的感濕特性曲線不相重復(fù)，一般可形成為一回線，這種特性稱為濕滯特性； 其曲線稱為濕滯回線。