為了使堵片傳感器的靈敏度,分辨率、測量范圍小、測量精度等得到提高,可實(shí)現(xiàn)對堵片打開信號的可靠、穩(wěn)定測量,滿足航天飛行器發(fā)動機(jī)控制系統(tǒng)信號測試需要,某堵片傳感器制造商采用伯東kri考夫曼射頻離子源rfcip220濺射制備堵片傳感器薄膜.
伯東kri射頻離子源rficp220技術(shù)參數(shù):
離子源型號
rficp220
discharge
rficp射頻
離子束流
>800 ma
離子動能
100-1200 v
柵極直徑
20 cm φ
離子束
聚焦, 平行, 散射
流量
10-40 sccm
通氣
ar, kr, xe, o2, n2, h2, 其他
典型壓力
< 0.5m torr
長度
30 cm
直徑
41 cm
中和器
lfn 2000
*可選:燈絲中和器;可變長度的增量
kri離子源的功能實(shí)現(xiàn)了更好的性能,增強(qiáng)的可靠性和新穎的材料工藝.kri離子源已經(jīng)獲得了理想的薄膜和表面特性,而這些特性在不使用kri離子源技術(shù)的情況下是無法實(shí)現(xiàn)的.
伯東是德國pfeiffer真空泵, 檢漏儀, 質(zhì)譜儀, 真空計, 美國kri考夫曼離子源, 美國hva真空閥門, 美國intest高低溫沖擊測試機(jī), 美國ambrell感應(yīng)加熱設(shè)備和日本ns離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口品牌的代理商.
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上海伯東:羅女士