云南某大學(xué)實(shí)驗(yàn)室采用伯東kri考夫曼射頻離子源rficp140離子束濺射制備尺寸均勻、高密度的mnge量子點(diǎn),mnge量子點(diǎn)屬于半導(dǎo)體量子材料的領(lǐng)域.
伯東kri考夫曼射頻離子源rficp140技術(shù)參數(shù):
型號
rficp 140
discharge
rficp射頻
離子束流
>600 ma
離子動能
100-1200 v
柵極直徑
14 cm φ
離子束
聚焦,平行,散射
流量
5-30 sccm
通氣
ar, kr, xe, o2, n2, h2,其他
典型壓力
< 0.5m torr
長度
24.6 cm
直徑
24.6 cm
中和器
lfn 2000
運(yùn)行結(jié)果:
kri考夫曼射頻離子源rficp140可控性強(qiáng),制備工藝簡單,具有較強(qiáng)的商業(yè)價值.
伯東是德國pfeiffer真空泵,檢漏儀,質(zhì)譜儀,真空計(jì),美國kri考夫曼離子源,美國hva真空閥門,美國intest高低溫沖擊測試機(jī),美國ambrell感應(yīng)加熱設(shè)備和日本ns離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口品牌的代理商.
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上海伯東:羅先生