快速，精確，準(zhǔn)確地測(cè)量小樣本和大樣本315毫米x 315毫米大掃描區(qū)域用戶友好的概念復(fù)雜的分析和自動(dòng)化軟件ct 300是一種非接觸輪廓儀，具有315 mm的x，y運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。它可以處理12英寸的晶圓或其他大型基板和零件。使用彩色白光傳感器和高達(dá)20 khz的數(shù)據(jù)采集速率，可以將檢查時(shí)間減至最少下面文章將為您具體講解下《優(yōu)勢(shì)供應(yīng)cyber technologies輪廓儀ct300》等內(nèi)容，還請(qǐng)感興趣的繼續(xù)閱讀了解一下，謝謝!
快速，精確，準(zhǔn)確地測(cè)量小樣本和大樣本
315毫米x 315毫米大掃描區(qū)域
用戶友好的概念
復(fù)雜的分析和自動(dòng)化軟件
ct 300是一種非接觸輪廓儀，具有315 mm的x，y運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。它可以處理12英寸的晶圓或其他大型基板和零件。使用彩色白光傳感器和高達(dá)20 khz的數(shù)據(jù)采集速率，可以將檢查時(shí)間減至最少。共聚焦顯微鏡和3d白光干涉儀傳感器在低至0.1 nm的z方向上提供了無與倫比的分辨率。利用多傳感器技術(shù)，可以同時(shí)安裝多個(gè)傳感器頭，包括用于測(cè)量晶圓厚度的紅外干涉儀。
典型的應(yīng)用是印刷過程的分析和質(zhì)量控制，例如pv太陽能電池，基板材料的進(jìn)料檢查，各種基板上的厚膜測(cè)量，漿料倉庫，環(huán)氧膜，點(diǎn)或其他印刷和印刷的體積測(cè)量。分配的功能。 高輪廓物體的幾何形狀和位置測(cè)量（如焊料凸塊，微透鏡和mems器件）以及平面度和共面性分析是其他受歡迎的應(yīng)用。由于ct 300在整個(gè)行程中保持高精度，因此可以快速而精確地檢查較大的零件，例如晶片，墊片或玻璃鏡片。
產(chǎn)品參數(shù)
系統(tǒng)控制器：包括運(yùn)動(dòng)控制，傳感器控制器（2 khz），電源，工作站的usb接口
工作站電腦：查詢當(dāng)前規(guī)格，22英寸寬屏顯示器
連接：以太網(wǎng)，dvd驅(qū)動(dòng)器，usb（正面和背面），并行端口，鍵盤，鼠標(biāo)，dvi和模擬視頻輸出
電源要求：100-240v ac，50-60 hz，2安培（240 v），5安培（100 v）
工作溫度：20°-30°c（68–86 f）
測(cè)量表面尺寸：400 x 400 [mm]（16 x 16 [in]）
線性編碼器分辨率：0.05μm（2μin）
橫向分辨率：min.1微米
x和y的行程限制（電動(dòng)）：315 x 315 [mm]（12 x 12 [in]）
z的行程限制（手動(dòng)）：50 mm（2in）（可調(diào)節(jié)至100 mm）
機(jī)動(dòng)化的z軸行程：100 mm，分辨率0.1 µm
平臺(tái)上的負(fù)載：max.10 kg
可用的傳感器：
共焦白光傳感器
共焦激光傳感器
激光三角測(cè)量傳感器
干涉儀（白光和紅外）
尺寸（長x寬x高）：900 x 1040 x 1600 [mm]
站立式工作站（35 x 41 x 63 [in]）
重量：400 kg (880 lbs)
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