?光學(xué)干涉儀是一種基于光學(xué)原理的、利用干涉現(xiàn)象來(lái)測(cè)量形狀和尺寸的高精度儀器。它的應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛，包括機(jī)械加工、航空制造、電子設(shè)備等領(lǐng)域。
1.光路結(jié)構(gòu)
光學(xué)干涉儀通常由光源、分束器、反射鏡或透鏡組成。經(jīng)過無(wú)數(shù)次反射和折射后，兩束相互垂直的平行光線在被重新合并之前會(huì)發(fā)生相位差，并通過檢測(cè)器判斷偏移程度。
2.常見類型
常見的光學(xué)干涉儀有：fizeau干涉儀，michelson干涉儀和mach-zehnder干涉。fizeau干涉法可用于替代顯微鏡作為表面形貌檢測(cè)手段；michelson干涉法可以被用作雙臂懸掛式gravitational-wave探測(cè)器中；mach-zehnder系統(tǒng)可以精確地測(cè)試材料折射率及其變化率。
3.應(yīng)用場(chǎng)景
《車間實(shí)踐》（workshoppractice）音速噴管版型制造：
該例展示了如何使用michelson/fabry-pérot氣膜干涉儀驗(yàn)證器的光學(xué)測(cè)量特點(diǎn)，以便在制造高度精確的噴嘴版本時(shí)得到實(shí)驗(yàn)室質(zhì)量控制。
《超聲傳感最佳化》（ultrasonicssensingoptimization）：
該文闡述了如何通過模擬和實(shí)驗(yàn)研究加速fizeau干涉儀中響應(yīng)距離與孔徑之間關(guān)系。
4.技術(shù)趨勢(shì)
隨著科技不斷發(fā)展，先進(jìn)的數(shù)字信號(hào)處理技術(shù)已經(jīng)被廣泛應(yīng)用于光學(xué)干涉儀中。這些新技術(shù)可以大大提高檢測(cè)靈敏度和精確度，并且可以在更高級(jí)別上進(jìn)行數(shù)字分析。
5.結(jié)論
作為一種非常重要、普遍使用的光學(xué)工具，光學(xué)干涉儀將持續(xù)受到廣泛關(guān)注和發(fā)展。未來(lái)，在人工智能及物聯(lián)網(wǎng)等領(lǐng)域迅速發(fā)展下，在設(shè)備穩(wěn)定性、數(shù)據(jù)可靠性及準(zhǔn)確度方面有所改善是十分必要且值得期待的趨勢(shì)。