什么是mems壓力傳感器?
答：mems壓力傳感器是具有電源、接口電路、執(zhí)行器、微型傳感器和信號(hào)處理的微型的機(jī)電系統(tǒng)。它可以使用在制作工藝和電路設(shè)計(jì)上，低成本而高精度地進(jìn)行大量的生產(chǎn)。其實(shí)傳統(tǒng)的壓力傳感器是在當(dāng)金屬?gòu)椥泽w受到外力的作用而導(dǎo)致變形的時(shí)候，經(jīng)過機(jī)械量的彈性的變形，然后待電量轉(zhuǎn)換之后再輸出，因此，mems壓力傳感器的優(yōu)越性有很多，尺寸很小，性價(jià)比很高。它主要分為兩種：硅電容式和硅壓阻式。