x射線熒光光譜儀是一種可以對多元素進行快速同時測定的儀器。試樣受x射線照射后，其中各元素原子的內殼層（k，l或m層）電子被激發(fā)逐出原子而引起電子躍遷，并發(fā)射出該元素的特征x射線熒光。每一種元素都有其特定波長的特征x射線。能散型x射線熒光光譜儀（edxrf）利用熒光x射線具有不同能量的特點，由探測器本身的能量分辨本領來分辨探測到的x射線。
由光源激發(fā)樣品所產(chǎn)生的特征x射線直接進入探測器，探測器將光信號轉化為電信號，由主放大器輸出的脈沖傳送到adc（模數(shù)轉換器），脈沖幅度的模擬信號在這里轉換成數(shù)字信號，產(chǎn)生的數(shù)字作為與多道分析器（mca）連接的地址，然后根據(jù)這些地址分檢不同的脈沖即x射線的能量，并記錄相應的脈沖數(shù)目。