電容式傳感器概述
電容式傳感器的應(yīng)用技術(shù)近幾十年來有了較大的進展,由于電容測微技術(shù)的不斷完善,作為高精度非接觸式測量手段,廣泛應(yīng)用于科研和生產(chǎn)加工過程。一般產(chǎn)品有測微儀器。過去,電容式傳感器主要用于位移、振動、角度、加速度等機械量精密測量。現(xiàn)在還逐漸擴大應(yīng)用于壓力、壓差、液面、成份含量等方面的測量。
電容式傳感器的特點
小功率、高阻抗。電容器密度很小,一般在幾十~幾百微法,具有高輸出阻抗。
靜電引力小(極板間),工作所需作用力很小。
可動質(zhì)量小,具有較高的固有頻率,所以動態(tài)響應(yīng)特性好。
本身發(fā)熱影響小。
可進行非接觸測量。
電容式傳感器的定義
電容式傳感器是將被測量(如尺寸、壓力等)的變化轉(zhuǎn)換成電容量變化的一種傳感器。把被測的機械量,如位移、壓力等轉(zhuǎn)換為電容量變化的傳感器。它的敏感部分就是具有可變參數(shù)的電容器。其zui常用的形式是由兩個平行電極組成、極間以空氣為介質(zhì)的電容器(見圖)。若忽略邊緣效應(yīng),平板電容器的電容為εa/δ,式中ε為極間介質(zhì)的介電常數(shù),a為兩電極互相覆蓋的有效面積,δ為兩電極之間的距離。
1151壓力變送器,電容式傳感器