德國萊寶真空計原理
萊寶真空計leyboldvacuumgauge用于測量低于大氣壓的稀薄氣體總壓力的儀表，又稱真空規(guī)。真空計的測量單位沿用壓力測量單位，壓力的單位為帕（pa），曾使用的單位還有托（torr）和毫巴（mbar）等
真空計簡史
自1643年意大利物理學家e.托里拆利進行大氣壓力實驗以來，先后出現(xiàn)許多種真空計。zui早出現(xiàn)的是ｕ形管真空計,它只能用來測量粗真空和低真空。1874年,h.g.麥克勞發(fā)明的壓縮式真空計,解決了低真空和高真空的壓力的測量，但仍不能進行連續(xù)測量。1906年，m.皮喇尼發(fā)明電阻式真空計，解決了工業(yè)生產(chǎn)中的低真空測量問題。繼而，o.e.巴克利于1916年又發(fā)明電離真空計,這在當時不僅解決了10-1～10-5帕的高真空測量,而且促進了油擴散泵等真空設備的發(fā)展和應用。1937年，f.m.潘寧發(fā)明冷陰極電離真空計，適用于有大量放氣和經(jīng)常暴露于大氣的真空設備的測量，所以在真空冶金和機械工業(yè)中得到廣泛應用。1950年，r.t.貝阿德和d.a.阿爾伯特發(fā)明ba式電離真空計,解決了10-8帕的超高真空測量問題,從而使真空測量獲得了突破,并推動了超高真空技術的發(fā)展；而與此有關的表面物理、核能、航天和大型集成電路等科學技術也得到了迅速發(fā)展。1960年以來，相繼研制成功的調(diào)制規(guī)、抑制規(guī)、彎注規(guī)、分離規(guī)和磁控式電離規(guī)等已能實現(xiàn)10-11帕左右的超高真空測量。
真空計分類
真空計可分為真空計和相對真空計兩大類。凡能從其本身測得的物理量（如液柱高度、工作液、比重等）直接計算出氣體壓力的稱真空計，這種真空計測量精度較高，主要用作基準量具。相對真空計主要利用氣體在低壓力下的某些物理特性（如熱傳導、電離、粘滯性和應變等）與壓力的關系間接測量，其測量精度較低，而且測量結果還與被測氣體種類和成分有關。因此相對真空計必須用真空計標定和校準后方能用作真空測量。但它能直接讀出被測壓力，使用方便，在實際應用中占絕大多數(shù)。真空技術需要測量的壓力范圍為105～10-11帕，甚至更小,寬達16個數(shù)量級以上,尚無一種真空計能適用于從粗真空（105～102帕）、低真空（102～10-1帕）、高真空（10-1～10-5帕）、超高真空（小于10-5帕）到*真空（小于10-10帕）的全范圍測量,因而有多種真空計。zui常用的有u形管真空計、壓縮式真空計、電阻真空計和冷熱陰極電離真空計。u形管真空計用以測量粗真空和低真空的真空計（圖1）。在u字形的玻璃管中充以工作液（低蒸氣壓的油、汞）。管的一端被抽成真空（或直接通大氣），另一端接被測真空系統(tǒng)。根據(jù)兩邊管中的壓差所造成的液柱差可測出被測真空系統(tǒng)的壓力。壓縮式真空計又稱麥克勞真空計，是一種測量低真空和高真空的真空計。這種真空計一般用硬質(zhì)玻璃制成（圖2a）。a是一根與被測真空系統(tǒng)相連接的開管，d、b為內(nèi)徑相同的毛細管，v為球泡,其體積遠大于毛細管。測量時，通過活塞2抽真空，然后用活塞1充氣,使汞儲存器c中的汞上升到覆沒交叉口μμ′，則d、v和b、a內(nèi)的氣體被隔成兩個區(qū)域。再充氣繼續(xù)提高汞液面,d、v內(nèi)的氣體則進一步被壓縮，壓力增高。這樣d、b間存在的壓差可由汞柱高度差來表示（圖2b）。玻璃容器的體積和毛細管的高度是可測出的，所以用玻意耳定律即可算出被測壓力。測量精度較高,在10-3帕時的精度小于或等于5％。電阻真空計又稱皮喇尼真空計，是一種測量低真空的相對真空計，主要由電阻式規(guī)管和測量線路兩部分組成。電阻式規(guī)管（圖3）是在管殼內(nèi)封裝著一條電阻溫度系數(shù)較大的電阻絲，常用的為鎢或鉑絲。測量時，規(guī)管與被測真空系統(tǒng)相接，用一定的電壓、電流加熱電阻絲，其表面溫度可用電阻值來反映，且與周圍的氣體分子的熱傳導有關，而氣體分子的熱傳導又與壓力有關。當被測壓力降低時，由氣體分子傳走的熱量減小，電阻絲表面溫度就增高，電阻值增大；反之，電阻值減小。因此根據(jù)電阻值的大小就可測量出壓力。熱陰極電離真空計通稱電離真空計，主要用于高真空測量。它是由圓筒式熱陰極電離規(guī)管（圖4）和測量線路兩部分組成。這種規(guī)管與三極電子管相似，有3個電極：陰極（燈絲）、螺旋形柵極（加速極）和圓筒形收集極。測量時，規(guī)管與被測真空系統(tǒng)相連。通電后，熱陰極發(fā)射電子，在飛向帶正電位的加速極的路程中與管內(nèi)空間的低壓氣體分子碰撞,使氣體分子電離。電離所產(chǎn)生的電子和離子,分別在加速極和收集極（帶負電位）上形成電子流ie和離子流ii。在被測氣體壓力低于10-1帕的狀況下,當電子流ie恒定時，離子流ii與被測真空系統(tǒng)中的氣體分子密度（亦即壓力p）成正比。因此,離子流的大小就可作為壓力的度量。這種真空計的測量范圍為10-1～10-5帕。此外,還有測量上限能達102帕以上的高壓力電離真空計。這種電離真空計在工作時，陰極發(fā)射的電子撞擊加速極時產(chǎn)生軟性x射線，照射到收集極上時便引起收集極的光電子發(fā)射，因而就在離子流測量回路中增加一個與被測壓力無關的剩余光電流ix,限制測量下限的擴展。為了減少這種軟x射線對收集極的影響，人們又研制出ba式電離規(guī)管（圖5）。它是將收集極改為針形，并與陰極的位置對換，這樣使光電流ix大為減少，使壓力測量下限從10-5帕擴展到10-8帕左右，從而解決了超高真空測量的問題。冷陰極電離真空計一種測量高真空的相對真空計。它由電離規(guī)管和測量線路兩部分組成（圖6）。規(guī)管一般由兩塊平行的陰極、一個環(huán)形的陽極和產(chǎn)生磁場的磁鋼構成。在電極之間加有高壓直流電場，而整個規(guī)管的電極系統(tǒng)又置于垂直電極平面的磁場中。在正交電場和磁場的作用下，由低壓氣體分子電離產(chǎn)生的放電電流是被測壓力的函數(shù)，所以放電電流的大小可作為壓力的度量。
熱偶真空計，電阻真空計，壓敏真空計，電離真空計，熱偶與電離復合真空計，電阻與電離復合真空計，壓敏與電離復合真空計，
按真空度刻度方法分類
（1）真空計：直接讀取氣體壓力，其壓力響應（刻度）可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。真空計對所有氣體都是準確的且與氣體種類無關，屬于真空計的有u型鎊壓力計、壓縮式真空計和熱輻射真空計等。
（2）相對真空計：由一些氣體壓力有函數(shù)關系的量來確定壓力，不能通過簡單的計算進刻度，必須進行校準才能刻度。相對真空計一般由作為傳感器的真空計規(guī)管（或規(guī)頭）和用于控制、指示的測量器組成。讀數(shù)與氣體種類有關。相對真空計的種類很多，如熱傳導真空計和電離真空計等。
按真空計測量原理分類
直接測量真空計這種真空計直接測量單位面積上的力，有:
（1）靜態(tài)液位真空計：利用u型管兩端液面差來測量壓力。
（2）彈性元件真空計：利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來測量壓力值的大小。
間接測量真空計壓力為10-1pa時，作用在1cm2表面上力只有10-5n，顯然測量這樣小的力是困難的。但可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關的物理量的變化來間接測量壓力的變化。屬于這類的真空計有：
（1）壓縮式真空計：其原理是在u型管的基礎上再應用波義耳定律，即將一定量待測壓力的氣體，經(jīng)過等溫壓縮使之壓力增加，以便用u型管真空計測量，然后用體積和壓力的關系計算被測壓力。
（2）熱傳導真空計：利用低壓下氣體熱傳導與壓力有關這一原理制成。常用的有電阻真空計和熱偶真空計。
（3）熱輻射真空計：利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關原理。
（4）電離真空計：利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離，產(chǎn)生的離子流隨電力變化的原理。如：熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計和放射性電離真空計等。
（5）放電管指示器：利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關的性質(zhì)判定真空度，一般僅能作為定性測量。
（6）粘滯真空計：利用低壓下氣體與容器壁的動量交換即外摩擦原理。如振膜式真空計和磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計。
（7）場致顯微儀：以吸附和解吸時間與壓力關系計算壓力。
（8）分壓力真空計：利用質(zhì)譜技術進行混合氣體分壓力測量。常用的有四極質(zhì)譜計、回旋質(zhì)譜計和射頻質(zhì)譜.