各種氣體的純度指標(biāo)

發(fā)布時間：2024-02-26

氣體種類
項目
指標(biāo)
優(yōu)等品
一等品
合格品
高純氮
氮氣純度, 10-2（v/v）
99.9996
99.9993
99.999
氧含量,10-6（v/v）
1.0
2.0
3.0
氫含量,10-6（v/v）
0.5
1.0
1.0
co、co2、ch4總含量,10-6（v/v）
1.0
2.0
3.0
高純氬
氬純度, 10-2（v/v）
99.9996
99.9993
99.999
氮含量,10-6（v/v）
2
4
5
氫含量,10-6（v/v）
0.5
1
1
總碳含量（以甲烷計）10-6（v/v）
0.5
1
2
高純氦
氦氣純度, 10-2（v/v）
99.9996
99.9993
99.999
氫含量,10-6（v/v）
0.1
0.5
1
氧（氬）含量10-6（v/v）
0.5
1
1
氮含量,10-6（v/v）
1
1
2
一氧化碳含量,10-6（v/v）
0.1
0.2
0.5
二氧化碳含量,10-6（v/v）
0.2
0.2
0.5
甲烷含量,10-6（v/v）
0.1
0.2
0.5
高純氫
氫純度, 10-2（v/v）
99.999
氧（氬）含量10-6（v/v）
1
氮含量,10-6（v/v）
5
一氧化碳含量,10-6（v/v）
1
二氧化碳含量,10-6（v/v）
1
甲烷含量,10-6（v/v）
1
超純氫
氫純度, 10-2（v/v）
99.9999
氧（氬）含量10-6（v/v）
0.2
氮含量,10-6（v/v）
0.4
一氧化碳含量,10-6（v/v）
0.1
二氧化碳含量,10-6（v/v）
0.1
甲烷含量,10-6（v/v）
0.2
高純氧
氧純度, 10-2（v/v）
99.999
99.998
99.995
氬含量,10-6（v/v）
2
5
10
氮含量,10-6（v/v）
5
10
20
二氧化碳含量,10-6（v/v）
0.5
1
1
總碳含量（以甲烷計）10-6（v/v）
0.5
1
2