數(shù)字式四探針測試儀/臺式四探針電阻率測試儀 型號:dp-2258c
概述
dp-2258c型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器符合gb/t 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、gb/t 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、gb/t 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》并參考美 a.s.t.m 標(biāo)準(zhǔn)。
儀器成套組成:由主機、選配的四探針探頭、測試臺等部分組成。
主機主要由恒流源、分辨率adc、嵌入式單片機系統(tǒng)組成。儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入;具有零位、滿度自校功能;電壓電流全自動轉(zhuǎn)換量程;測試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。本測試儀贈設(shè)測試結(jié)果分類功能,z大分類10類。
探頭選配:根據(jù)不同材料性需要,探頭可有多款選配。有耐磨碳化鎢探針探頭,以測試硅類半導(dǎo)體、金屬、導(dǎo)電塑料類等硬質(zhì)材料的電阻率/方阻;也有球形鍍金銅合金探針探頭,可測柔性材料導(dǎo)電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導(dǎo)電膜(ito膜)或納米涂層等半導(dǎo)體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具,還可對電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻行測量。配用探頭,也可測試電池片等箔上涂層電阻率方阻。
測試臺選配:般四探針法測試電阻率/方阻配dp-t-a或dp-t-b或dp-t-c或dp-t-f型測試臺。二探針法測試電阻率測試選dp-t-k型測試臺,也可選配dp-t-d型測試臺以測試半導(dǎo)體粉末電阻率,選配dp-t-g型測試臺測試橡塑材料電阻率。詳見《四探針儀器、探頭和測試臺的點與選型參考》
儀器具有測量精度、靈敏度、穩(wěn)定性好、 化程度、結(jié)構(gòu)緊湊、使用簡便等點。
儀器適用于半導(dǎo)體材料廠器件廠、科研單位、等院校對導(dǎo)體、半導(dǎo)體、類半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性能的測試。
三、基本參數(shù)
1. 測量范圍、分辨率(括號內(nèi)為可向下拓展1個數(shù)量)
電 阻:10.0×10-6 ~ 200.0×103 ω, 分辨率1.0×10-6 ~ 0.1×103 ω
(1.0×10-6 ~ 20.00×103 ω, 分辨率0.1×10-6 ~ 0.01×103 ω)
電 阻 率:10.0×10-6 ~ 200.0×103 ω-cm 分辨率1.0×10-6 ~ 0.1×103 ω-cm
(1.0×10-6 ~ 20.00×103 ω-cm 分辨率0.1×10-6 ~ 0.01×103 ω-cm)
方塊電阻:50.0×10-6 ~ 900.0×103 ω/□ 分辨率5.0×10-6 ~ 0.5×103 ω/□
(5.0×10-6 ~ 100.0×103 ω/□ 分辨率0.5×10-6 ~ 0.1×103 ω/□)
2. 材料尺寸(由選配測試臺和測試方式?jīng)Q定)
直 徑: dp-t-a圓測試臺直接測試方式 φ15~130mm,手持方式不限
dp-t-b/c/f方測試臺直接測試方式180mm×180mm,手持方式不限.
長()度: 測試臺直接測試方式 h≤100mm, 手持方式不限.
測量方位: 軸向、徑向均可
量程劃分及誤差等
滿度顯示
200.0
20.00
2.000
200.0
20.00
2.000
200.0
20.00
2.000
常規(guī)量程
kω-cm/□
kω-cm/□
ω-cm/□
mω-cm/□
---
z大拓展量程
---
kω-cm/□
ω-cm/□
mω-cm/□
mω-cm/□
基本誤差
±2%fsb
±4lsb
±1.5%fsb
±4lsb
±0.5%fsb±2lsb
±0.5%fsb
±4lsb
±1.0%fsb
±4lsb
工作電源:220v±10%, f=50hz±4%,pw≤5w
5.外形尺寸: 245mm(長)×220 mm(寬)×95mm()
凈 重:≤1.5~2.0kg