隨著mems技術(shù)的不斷發(fā)展和進步，mems加速度計在航空、軍事、汽車等領(lǐng)域中已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用和研究。而近年來，基于硅納米波導(dǎo)倏逝場耦合的超緊湊光學(xué)式mems加速度計也逐漸成為了研究的焦點和熱門領(lǐng)域。
硅納米波導(dǎo)是一種介質(zhì)透明的硅基結(jié)構(gòu)，其具備亞微米級別的結(jié)構(gòu)大小、較高的折射率、透明度和低損耗等特點，這些特性使得硅納米波導(dǎo)在微納光子學(xué)和光電學(xué)領(lǐng)域中得到了廣泛的應(yīng)用和研究。而倏逝場耦合則是指兩個波導(dǎo)之間通過其表面振動的耦合作用，而形成了新的耦合波導(dǎo)。通過利用倏逝場耦合作用，可以將計算機的電信號轉(zhuǎn)換為光信號，從而實現(xiàn)光學(xué)式mems加速度計。
超緊湊光學(xué)式mems加速度計是一種利用mems技術(shù)制造的加速度傳感器，其利用了光學(xué)元件產(chǎn)生和探測質(zhì)量及力學(xué)參數(shù)對光的影響， 將質(zhì)量及力學(xué)參數(shù)轉(zhuǎn)化為容易測量的光學(xué)信號，從而實現(xiàn)對加速度的測量。它具有體積小、重量輕、功耗低、精度高等特點，廣泛應(yīng)用于導(dǎo)航、航空航天、物流、汽車以及運動健康等領(lǐng)域。
然而，超緊湊光學(xué)式mems加速度計的制造與應(yīng)用仍然存在一些挑戰(zhàn)。首先，制造過程需要利用微納米加工技術(shù)，制備精細的硅納米波導(dǎo)結(jié)構(gòu)；其次，超緊湊光學(xué)式mems加速度計的靈敏度和穩(wěn)定性需要進一步提高和優(yōu)化；最后，其在多個領(lǐng)域的應(yīng)用需要進一步驗證和實踐。
總之，基于硅納米波導(dǎo)倏逝場耦合的超緊湊光學(xué)式mems加速度計是一種極為有潛力的mems加速度計技術(shù)，其在精度、靈敏度和穩(wěn)定性等方面具有巨大的發(fā)展空間和前景。未來，隨著技術(shù)的不斷進步和完善，超緊湊光學(xué)式mems加速度計將會得到更加廣泛的應(yīng)用和繁榮發(fā)展。