機構(gòu)放大式壓電促動器由壓電陶瓷和外部放大機構(gòu)柔性鉸鏈組成，當(dāng)給壓電陶瓷施加電壓時，壓電陶瓷沿著主軸方向即長軸方向產(chǎn)生形變，外部機械結(jié)構(gòu)沿著短軸方向?qū)⑽灰七M行放大輸出，而在與壓電陶瓷伸長方向垂直的方向上縮短。機構(gòu)放大式壓電促動器以其位移行程大、分辨率高等特點在納米定位、顯微成像、精密加工等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。
p06系列機構(gòu)放大式促動器外部結(jié)構(gòu)為橢圓形機械殼體，對壓電疊堆陶瓷除了提供優(yōu)化預(yù)緊力外，也對疊堆陶瓷起到保護作用，使其免于承受拉力。內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動，可實現(xiàn)560μm行程范圍，具有響應(yīng)速度快、分辨率高等特點。
ap系列壓電位移促動器采用先進的撓曲機構(gòu)和高性能壓電陶瓷疊堆，可提供非常大的運動范圍，響應(yīng)速度快、分辨率可達(dá)亞納米量級。雙鉸鏈撓曲機構(gòu)具有更高的剛度、機械效率和共振頻率。雙鉸鏈撓曲設(shè)計也使得尺寸更加緊湊。產(chǎn)品參數(shù)可定制，在振動控制、光學(xué)顯微等方面得到廣泛應(yīng)用。
nac系列壓電放大促動器是基于低壓壓電執(zhí)行器堆棧，非常適用于需要具有溫度穩(wěn)定性和高共振頻率的較輕型促動器的系統(tǒng)。*的結(jié)構(gòu)使促動器外形更緊湊。較輕的重量和優(yōu)化的剛度意味著更高的機械共振，允許更高頻率的操作。
芯明天e53.a系列壓電控制器，體積小巧，控制方式采用模擬輸入控制，既可保證快速的響應(yīng)時間，又可保證機構(gòu)放大促動器的工作穩(wěn)定性。