xd603系列壓電納米定位臺是一維x向運動壓電平臺，平臺采用抗振動設(shè)計，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)，具有分辨率高、行程大等特點。
特性
一維x軸運動
行程范圍可達±165μm
抗振動設(shè)計
高低溫版本
閉環(huán)精度高
大行程、高可靠性、高穩(wěn)定性
xd603為壓電陶瓷驅(qū)動、高可靠性壓電納米定位臺，可以實現(xiàn)±165μm的位移行程，優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計具有無摩擦、導(dǎo)向精度高等特點。
閉環(huán)版本內(nèi)部配有高分辨率及快速響應(yīng)的應(yīng)變傳感器（sgs），配備在驅(qū)動機構(gòu)的合適位置，它可向控制器反饋高帶寬、高精度的電壓信號。與e70系列控制器配套使用，具有高穩(wěn)定性。
技術(shù)參數(shù)
型號：xd603
運動自由度：x
行程范圍（0~120v）：±130μm
行程范圍（0~150v）：±165μm
閉環(huán)傳感器：sgs
閉/開環(huán)分辨率：12/5nm
閉環(huán)線性度：0.1%f.s.
閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.04%f.s.
俯仰/偏航/滾動：1μrad
推/拉力：300/30n
運動方向剛度：1.2n/μm
空載諧振頻率：490hz
閉/開環(huán)空載階躍時間：80/40ms
承載能力：0.6kg
靜電容量：24.6μf
工作溫度：-40~+80℃
抗振設(shè)計：半正弦15g，11ms
后峰鋸齒波20g，11ms
材質(zhì)：鋼、鋁
重量：950g
推薦控制器
xd603系列壓電位移臺，可搭配芯明天e70系列壓電控制器使用，模擬與數(shù)字控制，體積小巧，高性能搭配。