1.磁柵的組成
磁柵式傳感器是由磁柵(簡稱磁尺)、磁頭和檢測電路組成。如圖1所示，磁尺是用非導(dǎo)磁性材料做尺基，在尺基的上面鍍一層均勻的磁性薄膜，然后錄上一定波長的磁信號。磁信號的波長又稱節(jié)距，用w表示。在n與n、s與s重疊部分磁感應(yīng)強(qiáng)度最強(qiáng)，但兩者極性相反。目前常用的磁信號節(jié)距為0.05mm和0.20mm兩種。
圖1 磁柵傳感器工作原理示意圖
1-磁尺 2-尺基 3-磁性薄膜 4-鐵心 5-磁頭
磁頭可分為動態(tài)磁頭(又稱速度響應(yīng)式磁頭)和靜態(tài)磁頭(又稱磁通響應(yīng)式磁頭)兩大類。動態(tài)磁頭在磁頭與磁尺間有相對運(yùn)動時，才有信號輸出，故不適用于速度不均勻，時走時停的機(jī)床。而靜態(tài)磁頭在磁頭與磁柵間沒有相對運(yùn)動時也有信號輸出。
2.磁柵的類型
磁柵分為長磁柵和圓磁柵兩類。前者用于測量直線位移，后者用于測量角位移。長磁柵可分為尺形、帶形和同軸形三種，一般用尺形磁柵，其外形如圖2(a)所示。當(dāng)安裝面不好安排時，可采用帶形磁柵，帶形磁柵傳感器如圖2(b)所示。同軸形磁柵傳感器如圖2(c)所示，其結(jié)構(gòu)特別小巧，可用于結(jié)構(gòu)緊湊的場合。
圖2 長磁柵傳感器的類型
1-磁頭 2-磁柵 3-屏蔽罩 4-基座 5-軟墊