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為了跟上摩爾預測的晶體管密度。;根據(jù)美國法律，芯片制造商面臨越來越多的技術障礙。如今，英特爾、tsmc和globalfoundries等主要芯片制造商都在考慮采用紫外線蝕刻技術。紫外刻蝕掃描儀使用的激光波長不到當今最先進機器的十分之一，但要保證紫外刻蝕機在晶圓廠長期可靠運行，也是一項艱巨的工程挑戰(zhàn)。
多年來，超紫外蝕刻技術一直受到質(zhì)疑，未能達到預期。現(xiàn)在荷蘭公司asml holding宣布，將于2018年開始交付用于大規(guī)模生產(chǎn)微處理器和存儲器的紫外線蝕刻掃描儀。各大芯片公司正在判斷這些機器何時以及如何整合到他們的產(chǎn)品線中。
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紫外線蝕刻技術芯片公司
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