日本tekhne sf6氣體純度露點(diǎn)儀mbw973-sf6
特征
抽查sf6氣體露點(diǎn)管理氣體變壓器/氣體斷路器氣體絕緣開關(guān)半導(dǎo)體和液晶面板的干法蝕刻工藝sf6氣體回收與再循環(huán)主要用途
sf6純度/變壓器/氣體斷路器的露點(diǎn)測(cè)量環(huán)保測(cè)量?jī)x
sf6（六氟化硫）氣體是一種溫室氣體，其減排目標(biāo)是由《京都議定書》設(shè)定的，據(jù)說其溫室效應(yīng)約為每單位體積co2的23,400倍。sf6氣體在斷路器/變壓器和半導(dǎo)體工藝中用作絕緣氣體，因此必須測(cè)量水分和sf6純度以保持其絕緣性。
另一方面，到目前為止，在日本，測(cè)量時(shí)通常將其釋放到大氣中，或者不釋放而以高成本進(jìn)行收集和分解。通過使用mbw973-sf6，可以將測(cè)得的sf6氣體返回到原始設(shè)備而不會(huì)釋放到大氣中，并且可以將向大氣中的釋放減少到零。
高精度測(cè)量
迄今為止，由于電容類型易于獲取，因此通常被使用。另一方面，mbw973-sf6的露點(diǎn)和純度測(cè)量均采用高精度鏡型，因此可以分別以±0.5°c和0.5％的精度進(jìn)行高精度測(cè)量，響應(yīng)速度快，隨時(shí)間的推移幾乎沒有劣化。是。通過使用該裝置，可以大大減少操作者的工作時(shí)間，并且可以容易地進(jìn)行可靠的測(cè)量。
so2測(cè)量選項(xiàng)
sf6氣體通過與水反應(yīng)來凈化hf氣體和so2氣體。mbw973-sf6可以測(cè)量0至100ppm或0至500ppm范圍內(nèi)的so2。該傳感器使用電化學(xué)電池，可以滿量程±2％的精度進(jìn)行測(cè)量。