執(zhí)行機(jī)構(gòu)用以實(shí)現(xiàn)機(jī)電一體化產(chǎn)品的主功能。它應(yīng)能完成預(yù)期的動作，并具有響應(yīng)速度快、動態(tài)特性好、動靜態(tài)精度高、動作靈敏度高等特點(diǎn)。為便于控制，它還應(yīng)滿足效率高、體積小、質(zhì)量輕、自控性強(qiáng)、可靠性高等要求
機(jī)電一體化產(chǎn)品具有信息處理系統(tǒng)、物流系統(tǒng)、加工系統(tǒng)、是以能量、物質(zhì)和信息的傳遞、處理、轉(zhuǎn)換、保存等為目的的技術(shù)系統(tǒng)，為實(shí)現(xiàn)不同的目的功能，需采用不同形式的執(zhí)行機(jī)構(gòu)，如電動的、機(jī)械的、電子的、激光的等等。
微動機(jī)構(gòu)
微動機(jī)構(gòu)是一種能在一定范圍內(nèi)精確、微量地移動到給定位置或?qū)崿F(xiàn)特定的進(jìn)給運(yùn)動的機(jī)構(gòu)。微動機(jī)構(gòu)一般用于精確、微量地調(diào)節(jié)某些部件的相對位置。
微動機(jī)構(gòu)的性能好壞在一定程度上影響系統(tǒng)的精確性和操作性能，因而要求其滿足如下基本要求：
低摩擦、高靈敏度，最小移動量達(dá)到使用要求
傳動平穩(wěn)、可靠，無空程和爬行，有足夠的剛度，制動后能保持穩(wěn)定的位置
抗干擾能力強(qiáng)，快速響應(yīng)性好
具有好的動特性，即響應(yīng)頻率高
良好的結(jié)構(gòu)工藝性
應(yīng)能實(shí)現(xiàn)自動控制
微動機(jī)構(gòu)按執(zhí)行件的運(yùn)動原理不同分為：
彈性變形式
雙螺旋差動式
熱變形式
磁致伸縮式
電致伸縮式