如何有效的降低真空系統(tǒng)漏氣率的措施
真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)是影響真空系統(tǒng)密封性和系統(tǒng)漏氣率的關(guān)鍵，真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)合理與否，將直接影響系統(tǒng)的密封性和系統(tǒng)的漏氣率。
1、盡可能地避免出現(xiàn)小曲率半徑的死角，要光滑過渡查剎于打麈拋光、清洗清掃。
2、抽空管道、送氣管道等與真空室相連接的管道，采用圓弧過渡，使氣路暢通無阻，但要考慮清洗清掃的方便性。
3、認(rèn)真設(shè)計真空室內(nèi)各種連接件的結(jié)構(gòu)，使氣路暢通，避免氣路堵塞。
4、打磨拋光真空系統(tǒng)內(nèi)表面，表面越光亮就越不易氣體吸附，越容易獲得真空。
5、盡可能減小真空室的體積，縮短管路系統(tǒng)。
密封形式的選擇
密封形式可根據(jù)所需真空度的高低及實際工作需要選擇密封形式，對于人工晶體生長設(shè)備，一般需要的真空度在lo-3pa以下，因此，無需采用金屬密封。以tdr--70型單晶爐為例，我們選擇磁性流體密封作為旋轉(zhuǎn)動密封，選擇高精度大伸縮量的焊接波紋管進行移動密封，小直徑軸的旋轉(zhuǎn)密封選用“o”型密封圈或威爾遜密封，各種靜密封則采用“0”型密封圈密封形式，直徑壓縮比為25％。
密封件材質(zhì)的選用：真空度在lo-3pa以下的真空系統(tǒng)，密封材料一般選擇橡膠密封圈即可滿足要求。但是，考慮到實際工作條件的需要（真空室內(nèi)溫度zui高可達(dá)2300oc，密封部位進行水冷后，其溫度在80oc左右，個別處溫度可達(dá)100oc以上）。所以，要選擇比較理想的密封圈材料。
用于真空密封橡膠材料，除要求具有光潔表面、無劃傷、無裂紋外，還要求有低的滲透率和出氣率，良好的耐熱性耐油性，同時要有一定的強度、硬度和彈性等。
靜密封結(jié)構(gòu)的選擇
各種真空系統(tǒng)中，80%以上的密封為靜密封，靜密封效果的好壞，對系統(tǒng)的真空度及漏氣率有很大的影響。因此，要對靜密封結(jié)構(gòu)進行認(rèn)真設(shè)計，以達(dá)到理想的效果。
對靜密封結(jié)構(gòu)的設(shè)計，主要考慮如何選擇主要密封面、如何減小殘留氣體及如何充分發(fā)揮橡膠密封圈功能。
無論是矩形密封槽、燕尾型密封槽還是梯形密封槽，其槽底較小的粗糙度容易獲得為主要密封面，而其側(cè)面則較小的粗糙度往往不易獲得。同時，為了消除殘留氣體，在存在殘留氣體處設(shè)計了貫通孔，使系統(tǒng)內(nèi)部各處暢通無阻。
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