使用三坐標(biāo)測量機進行測量之初，通常要*行探針校正。探針校正的意義如下：
1） 正確確定探針的實際位置 使用一根固定的探針，只能測量簡單形狀的工件，對于深孔，長柱或多個復(fù)雜的工件測量平面，通常需要使用多個探頭組合或單個探頭多位置旋轉(zhuǎn)探頭完成測量任務(wù)。但是不同位置的探頭會給出不同的坐標(biāo)值。為了獲得正確的統(tǒng)一坐標(biāo)值，軟件系統(tǒng)必須自動修改不同位置探頭的坐標(biāo)差。這些坐標(biāo)值由探頭校正程序確定并存儲在計算機的內(nèi)部數(shù)據(jù)庫中。
2）補償測端球徑與探針撓曲變形誤差 ，有測量力就會有變形，盡管接觸式探針的測量力不是很大，但對于高精度的三坐標(biāo)測量來說，測量力使得測桿撓曲變形帶來的誤差是不容忽視的。理論和實踐都表明，一根普通的細長探針的撓曲變形可帶來數(shù)十微米的誤差，撓曲變形是一個復(fù)雜的物理過程，它受測力大小和測桿長短、粗細、材質(zhì)以及接觸形式等諸多因素的影響。從力學(xué)的角度來分析和確定變形量的大小是較困難的，也是不可取的。在三坐標(biāo)測量的實踐中，是通過測量一已知的實物標(biāo)準(zhǔn)（如標(biāo)準(zhǔn)球、量塊）得到帶有撓曲變形誤差的測端作用直徑。在實際測量中，再和測端作用直徑對它進行補償以獲得精密測量結(jié)果。在這一補償中，也在一定程度上補償了動態(tài)探測誤差。
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