parker派克膜片減壓閥產(chǎn)品描述：
uhp 超高純束縛膜片減壓閥 (壓力高達(dá) 250 psig) – smsq2micro系列 | #45800745-1
smsq2micro30102
派克veriflo產(chǎn)品組smsq2micro (0.06 cv)和smsq2micro130e (0.15 cv)是市場上*的微型超高純減壓閥。產(chǎn)品提供精密且穩(wěn)定的壓力控制，提高了mfc（質(zhì)量流量控制器）的性能，這對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)的重復(fù)性和產(chǎn)量至關(guān)重要。產(chǎn)品同樣表現(xiàn)出優(yōu)異的泄露完整性和底粒子生成，以減少對(duì)半導(dǎo)體應(yīng)用中至關(guān)重要的的過程污染.
減壓閥適用于惰性氣體和腐蝕性氣體，為階躍函數(shù)流量需求變化提高出色響應(yīng)。產(chǎn)品采用自動(dòng)定心束縛膜片設(shè)計(jì)，提供穩(wěn)定閥座密封和壓力調(diào)節(jié)。沒有閥芯彈簧和閥座滯留螺紋，這樣大限度減少粒子生成和截留，進(jìn)一步提高工藝清潔度和吹掃性能.
parker超高純束縛膜片減壓閥工作原理：
smsq2micro接液部件由特殊金屬制備，提供優(yōu)異的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體材料為內(nèi)部電解拋光 vericlean? 316l不銹鋼。vericlean? 是派克公司的uhp超高純級(jí)不銹鋼。膜片和閥芯材料為哈氏合金 c-22?。這些材料與smsq2micro系列設(shè)計(jì)特點(diǎn)相結(jié)合，使smsq2micro系列具有強(qiáng)耐腐蝕性和更高循環(huán)壽命，入口壓力高達(dá)250. smsq2micro和smsq2micro130e均采用與量子閥相同間距接口，符合semi模塊化接口規(guī)范.smsq2micro系列減壓閥的內(nèi)部（閥座）密封和金屬外部密封通過氦泄漏測試，使用質(zhì)譜儀以獲得在苛刻超高純應(yīng)用中的性能和穩(wěn)定性.
parker派克膜片減壓閥特點(diǎn)和優(yōu)勢:
有c 和 w密封貼面安裝1-1/8
和1-1/2
閥體尺寸
極低粒子數(shù)
束縛膜片有效減少接液部件的彈簧，增加安全性
smsq2micro0.06 cv,smsq2micro130e 0.15 cv
出口壓力范圍： -10 psig 到 60 psig
內(nèi)漏率:≤ 5 x 10-8 scc/sec立方厘米/秒 he
外漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec立方厘米/秒 he
5微英寸(ra粗糙度)電解拋光表面處理
工作壓力范圍：-40°f 至 +150° f (-40°c 至 +66°c)
parker派克膜片減壓閥應(yīng)用:
腐蝕性和特殊氣體
半導(dǎo)體工具
工具掛鉤
氣體柜
閥組箱 (vmb)