三坐標測量機的發(fā)展可劃分為三代：
代：一臺測量機是英國的ferranti公司于1959年研制成功的。當時的測量方式是測頭接觸工件后，靠腳踏板來記錄當前坐標值，然后使用計算器來計算元素間的位置關系。1964年，瑞士sip公司開始使用軟件來計算兩點間的距離，開始了利用軟件進行測量數(shù)據(jù)計算的時代。70年代初，德國zeiss公司使用計算機輔助工件坐標系代替機械對準，從此測量機具備了對工件基本幾何元素尺寸、形位公差的檢測功能。
第二代：隨著計算機的飛速發(fā)展，測量機技術進入了cnc控制機時代，完成了復雜機械零件的測量和空間自由曲線曲面的測量，測量模式增加和完善了自學習功能，改善了人機界面，使用專門測量語言，提高了測量程序的開發(fā)效率。
第三代：從90年代開始，隨著工業(yè)制造行業(yè)向集成化、柔性化和信息化發(fā)展，產(chǎn)品的設計、制造和檢測趨向一體化，這就對作為檢測設備的三坐標測量機提出了更高的要求，從而提出了第三代測量機的概念。其特點是：1、具有與外界設備通訊的功能；2、具有與cad系統(tǒng)直接對話的標準數(shù)據(jù)協(xié)議格式；3、硬件電路趨于集成化，并以計算機擴展卡的形式成為計算機的大型外部設備。