日本在發(fā)展效率高的趨精密中小型車床方面卓有成效，有近20家公司提供這類設(shè)備。雖然型號很多，但歸納起來有如下特點：一般用于加工盤形零件而無后*，加工對象比較專一；cnc系統(tǒng)分辨率為10nm或1nm，可同時2～3軸控制，使用交流數(shù)字伺服驅(qū)動系統(tǒng)，檢測反饋元件多為分辨率2.5或1.5nm的雙頻激光干涉儀；機(jī)床的機(jī)械結(jié)構(gòu)部件，主軸基本采用空氣靜承，主軸傳動采用柔性聯(lián)軸器，皮帶連接等形式，近年使用內(nèi)裝式電機(jī)主軸結(jié)構(gòu)的增多；機(jī)械進(jìn)給多使用滾珠絲杠副或靜壓絲杠螺母副，常組合有壓電伸縮或電致伸縮的進(jìn)給機(jī)構(gòu)；導(dǎo)軌有氣浮導(dǎo)軌，油靜壓或空氣靜壓導(dǎo)軌，以及在雙v槽中的滾動導(dǎo)軌；底座普遍采用花崗巖平臺支撐在空氣彈簧隔振系統(tǒng)上。這類機(jī)床的加工精度大約是：形狀*.1μm～0.2μm，圓度和平面度≤0.1μm，表面粗糙度為rmax0.02μm～0.05μm。