p77.d4 壓電式移相器為大口徑移相器，中心通孔孔徑分別為160mm，特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，與光學(xué)平面檢測(cè)儀相匹配。
特點(diǎn)
·一維 z 向運(yùn)動(dòng)
·分辨率可達(dá)0.5nm
·通孔尺寸為ø160mm
·行程范圍20μm
·大承載10kg
承載能力
p77.d4 的承載能力高達(dá)10kg。
多點(diǎn)位移測(cè)量
出廠前，對(duì)多個(gè)點(diǎn)進(jìn)行位移測(cè)量，保證運(yùn)動(dòng)的直線度。
步進(jìn)曲線
開(kāi)環(huán)曲線
技術(shù)參數(shù)
以上參數(shù)是采用e00/e01系列壓電控制器測(cè)得