一、微機械及其特征
1.微機械的概念
微型電子機械系統(tǒng)(mems),是指集微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的完整微型機電系統(tǒng)。mems技術的目標是通過系統(tǒng)的微型化、集成化來探索具有新原理、新功能的元件和系統(tǒng)。
微型機械在美國常稱為微型機電系統(tǒng)mems(microelectro mechanical system),在日本稱為微機械(micromachine),歐洲則稱為微系統(tǒng)(micro-system)。
微機械按其尺寸特征可分為微小機械(1~10mm),微機械(1μm~1mm),納米機械(1nm~1μm)。微電子機械系統(tǒng)(mems)是近年來發(fā)展起來的一種新型多學科交叉的技術,該技術將對未來人類生活將產(chǎn)生革命性的影響。并在未來高科技戰(zhàn)爭中扮演著舉足輕重的角色,是關系國民經(jīng)濟發(fā)展和國家安全保障的關鍵技術。
2.微機械的特征
(1)體積小,精度高,重量輕
(2)性能穩(wěn)定,可靠性高
(3)能耗低,靈敏度和工作效率高
(4)多功能和智能化
(5)適用于大批量生產(chǎn),制造成本低
二、微細加工工藝方法
微細加工是指加工尺度為微米級范圍的加工方式,是mems發(fā)展的重要基礎。
1.超微細加工
2.光刻加工
3.體刻蝕加工技術
4.面刻蝕加工技術
5.liga技術
6.封接技術
7.分子裝配技術
三、微細加工技術的發(fā)展與趨勢
微細加工技術總的發(fā)展趨勢是:
(1)加工方法的多樣化
(2)加工材料從單純的硅向著各種不同類型的材料發(fā)展,
(3)提高微細加工的經(jīng)濟性
(4)加快微細加工的機理研究