一、微機械及其特征
1.微機械的概念
微型電子機械系統(tǒng)(mems)，是指集微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的完整微型機電系統(tǒng)。mems技術的目標是通過系統(tǒng)的微型化、集成化來探索具有新原理、新功能的元件和系統(tǒng)。
微型機械在美國常稱為微型機電系統(tǒng)mems(microelectro mechanical system)，在日本稱為微機械（micromachine）,歐洲則稱為微系統(tǒng)（micro-system）。
微機械按其尺寸特征可分為微小機械（1～10mm），微機械（1μm～1mm），納米機械（1nm～1μm）。微電子機械系統(tǒng)（mems）是近年來發(fā)展起來的一種新型多學科交叉的技術，該技術將對未來人類生活將產(chǎn)生革命性的影響。并在未來高科技戰(zhàn)爭中扮演著舉足輕重的角色，是關系國民經(jīng)濟發(fā)展和國家安全保障的關鍵技術。
2.微機械的特征
(1)體積小，精度高，重量輕
(2)性能穩(wěn)定，可靠性高
(3)能耗低，靈敏度和工作效率高
(4)多功能和智能化
(5)適用于大批量生產(chǎn)，制造成本低
二、微細加工工藝方法
微細加工是指加工尺度為微米級范圍的加工方式，是mems發(fā)展的重要基礎。
1.超微細加工
2.光刻加工
3.體刻蝕加工技術
4.面刻蝕加工技術
5.liga技術
6.封接技術
7.分子裝配技術
三、微細加工技術的發(fā)展與趨勢
微細加工技術總的發(fā)展趨勢是：
(1)加工方法的多樣化
(2)加工材料從單純的硅向著各種不同類型的材料發(fā)展，
(3)提高微細加工的經(jīng)濟性
(4)加快微細加工的機理研究