半導(dǎo)體等離子清洗設(shè)備為何采用鋁合金腔體比較多:
半導(dǎo)體等離子清洗設(shè)備常用的材料有石英玻璃、不銹鋼和鋁合金等,不同行業(yè)和應(yīng)用領(lǐng)域的選擇會有所不同。在半導(dǎo)體行業(yè),大多數(shù)半導(dǎo)體等離子清洗設(shè)備都使用鋁合金,原因何在?
半導(dǎo)體工業(yè)用的等離子清洗設(shè)備清洗、刻蝕過程中對真空反應(yīng)腔材料的選擇比較講究,畢竟晶片、支架等產(chǎn)品的加工環(huán)境要求較高。誠峰智造半導(dǎo)體等離子清洗設(shè)備選用鋁合金質(zhì)腔體的原因大致如下:
1、鋁合金密度低,強(qiáng)度高,優(yōu)于優(yōu)質(zhì)鋼,具有較好的機(jī)械加工性能。
2、鋁具有良好的導(dǎo)電、導(dǎo)熱和抗腐蝕性能。
3、材料對化學(xué)反應(yīng)的兼容性較好,不易產(chǎn)生金屬污染,不會產(chǎn)生污染等。
4、鋁合金在表面處理方面比較豐富,包括電泳,噴涂,陽極氧化等。
5、趨膚深度為鋁鋁比不銹鋼高10倍以上,使電流分布更加均勻,不易產(chǎn)生熱源。
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