目前,我國傳感器行業(yè)規(guī)模較小,應用范圍較窄。為此,我們亟須轉變觀念,將傳感器的研發(fā)由單一物性型傳感器的研發(fā),轉化為高度集成的新型傳感器研發(fā)。新型傳感器的開發(fā)和應用已成為現代系統(tǒng)的核心和關鍵,它將成為21世紀信息產業(yè)新的經濟增長點。品種規(guī)格已有近6000種
我國早在20世紀60年代就開始涉足傳感器制造業(yè)。我國在1972年組建成立中國*批壓阻傳感器研制生產單位;1974年,研制成功中國*個實用壓阻式壓力傳感器;1978年,誕生中國*個固態(tài)壓阻加速度傳感器;1982年,早開始硅微機械系統(tǒng)(mems)加工技術和soi(絕緣體上硅)技術的研究。
進入20世紀90年代后,硅微機械加工技術的壓力傳感器、微壓傳感器、*壓傳感器、多晶硅壓力傳感器、低成本to-8封裝壓力傳感器等相繼問世并實現生產。
改革開放30年來,我國傳感器技術及其產業(yè)取得了長足進步,主要表現在:建立了傳感技術國家重點實驗室、微米/納米國家重點實驗室、國家傳感技術工程中心等研究開發(fā)基地;mems、moems(微光機電系統(tǒng))等研究項目列入了國家*發(fā)展重點;在“九五”國家重點科技攻關項目中,傳感器技術研究取得了51個品種86個規(guī)格新產品的成績,初步建立了敏感元件與傳感器產業(yè);2007年傳感器業(yè)總產量達到20.93億只,品種規(guī)格已有近6000種,并已在國民經濟各部門和國防建設中得到一定應用。
我國在20世紀80年代末就將傳感器列入國家*發(fā)展的重點,經過“八五”、“九五”和“十五”的攻關和產業(yè)化建設,目前全國已有2000多家企事業(yè)單位從事傳感器的研制、生產和應用。由于經濟發(fā)展水平和生產研發(fā)資金的限制,我國傳感器行業(yè)總體技術水平還是相對比較落后的,規(guī)模和應用領域都較小。今天活躍在市場上的仍然是德國、日本、美國、俄國等老牌工業(yè)國家的企業(yè)。在這些國家里,傳感器的應用范圍很廣,許多廠家的生產都實現了規(guī)模化,有些企業(yè)的年生產能力達到幾千萬只甚至幾億只。相比之下,中國傳感器的應用范圍較窄,更多的應用仍然停留在工業(yè)測量與控制等基礎應用領域。
微電子推動傳感器發(fā)展
幾十年來,微電子技術促進了傳感器技術的發(fā)展。未來10年~20年,傳統(tǒng)硅技術將進入成熟期(預計在2014年~2017年)。從總體發(fā)展看,傳統(tǒng)硅技術市場將一直延續(xù)到2047年(即晶體管發(fā)明100周年)才趨于飽和(即達到芯片特征尺寸的極限)并衰退。而當前微電子技術仍將依循“等縮比原理”和“摩爾定律”兩條基礎定律走下去,在逼近傳統(tǒng)硅技術極限中,不斷擴展硅的跨學科橫向應用(如mems等)和更*應用(量子、分子器件)。而上述微電子技術的兩大發(fā)展方向正是當前乃至未來20年傳感器技術的主要發(fā)展方向。