質(zhì)量流量控制器的英文名字叫mass flow controller(簡稱mfc)，它通常由流量傳感器、流量調(diào)節(jié)閥、放大控制電路和分流器控制通道等部件組成。用途與點(diǎn)質(zhì)量流量控制器(mass flow controller縮寫為mfc)用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量行精密測量和控制。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，cvd，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。點(diǎn):精度，重復(fù)性好。
般類型流量計(jì)般分為以下幾種類型:
1. 容積式流量計(jì)，又稱定排量流量計(jì)。它利用機(jī)械測量元件把流體連續(xù)不斷的分割成單個(gè)已知的體積部分，根據(jù)測量室逐次重復(fù)的充滿和排放該體積部分流體的次數(shù)來測量流體體積流量。
2. 浮子式流量計(jì)，又稱轉(zhuǎn)子流量計(jì)，是變面積式流量計(jì)的種，在根由下向上擴(kuò)大的垂直錐管中，圓形橫截面的浮子的重力是由液體動(dòng)力承受的，從而使浮子可以在錐管中自由的上升和下降。
3. 差壓式流量計(jì) ，是根據(jù)安裝于管道中流量檢測件產(chǎn)生的差壓，已知的流體的條件和檢測間與管道的尺寸來計(jì)算流量的儀表。
4. 渦街流量計(jì)，在流體中安放根非流線型游渦發(fā)生體，流體在發(fā)生體兩側(cè)交替的分離釋放出兩串規(guī)則地交錯(cuò)排列的游渦的儀表。
5. 渦輪流量計(jì)，是速度式流量計(jì)中的主要種類，它采用多葉片的轉(zhuǎn)子(渦輪)感受流體平均流速，從而推導(dǎo)出流量或總量的儀表。
6. 聲流量計(jì)，通過檢測流體流動(dòng)對聲束(或聲脈沖)的作用以測量流量的儀表。
7. 電磁流量計(jì)，電磁流量計(jì)是根據(jù)法拉弟電磁感應(yīng)定律制成的種測量導(dǎo)電性液體的儀表。電磁流量計(jì)有系列優(yōu)良性,可以解決其它流量計(jì)不易應(yīng)用的問題,如臟污流、腐蝕流的測量。
8. 熱式流量計(jì)，熱式流量計(jì)傳感器包含兩個(gè)傳感元件，個(gè)速度傳感器和個(gè)溫度傳感器。它們自動(dòng)地補(bǔ)償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到于工況溫度的某個(gè)定值，使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當(dāng)保持溫差不變時(shí)，電加熱消耗的能量，也可以說熱消散值，與流過氣體的質(zhì)量流量成正比，它適合單氣體和固定比例多組份氣體的測量。
科里奧利式流量計(jì)，其原理是利用流體在振管內(nèi)流動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的科氏力，以直接或間接地方法測量其力而得到流體質(zhì)量流量。