首先檢查儀器外觀、各部分相互作用及視場(chǎng)清晰度。在確定儀器的光源、濾色片、孔徑光闌、粗細(xì)調(diào)焦手輪及附件完好無(wú)損,運(yùn)行正常,確定物鏡、目鏡等附件無(wú)影響測(cè)量的霉斑等因素后再進(jìn)行校準(zhǔn)。
雙目鏡顯微鏡左右視場(chǎng)中心相對(duì)偏差
把分度值為0.1mm的標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺放置在工作臺(tái)左右方向 (縱向),選用10×物鏡,調(diào)焦至目鏡目標(biāo)清晰，在右目鏡中讀取標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺在視場(chǎng)兩側(cè)的刻度值a1及a2,然后在左目鏡中讀取標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺在視場(chǎng)邊緣兩側(cè)的刻度值a3 及a4,則兩視場(chǎng)中心在左右方向的相對(duì)偏差δ縱按公式 (1)計(jì)算:
把分度值為0.1mm 的標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺放置在工作臺(tái)上下方向 (橫向),在右目鏡中讀取標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺在視場(chǎng)邊緣兩側(cè)的刻度值b1及b2,然后在左目鏡中讀取標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺在視場(chǎng)兩側(cè)的刻度值b3 及b4,則兩視場(chǎng)中心在上下方向的相對(duì)偏差δ橫按公式(2)計(jì)算:
該項(xiàng)目須在雙目鏡的瞳距為內(nèi)側(cè)和外側(cè)兩位置時(shí)分別校準(zhǔn)。
物鏡放大倍率誤差：
目鏡帶有分劃尺：在工作臺(tái)上放置相對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺,裝上被校物鏡,調(diào)焦至目鏡目標(biāo)清晰，并使目鏡中的分劃尺與標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺刻線平行,目鏡中的分并使目鏡中的分劃尺與標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺刻線平行,目鏡中的分劃尺的左端刻線與標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺零刻線對(duì)齊,在目鏡分劃尺的尾刻線處讀出標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺的實(shí)際值l。則物鏡倍率誤差β物按公式 (3)計(jì)算:
式中:c———目鏡分劃尺的分度值;m———目鏡分劃尺的總格數(shù)。
目鏡無(wú)分劃尺
在工作臺(tái)上放置相對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺,裝上被校物鏡,取下目鏡,將倍率計(jì)置于目鏡筒上,調(diào)節(jié)物鏡的像面距離,使標(biāo)準(zhǔn)玻璃刻度尺在倍率計(jì)分劃尺上成清晰像。
示值誤差
示值誤差應(yīng)該分別在不同物鏡放大倍率下進(jìn)行。
目鏡式示值誤差
在工作臺(tái)上放置相對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺,裝上被校物鏡,調(diào)焦至目鏡中目標(biāo)清晰,并使目鏡中的分劃尺與標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺刻線平行,將目鏡中標(biāo)尺的左端零刻線對(duì)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺零刻線,觀察目鏡中分劃尺上被測(cè)點(diǎn)的刻線與標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺的對(duì)應(yīng)刻線一致性,在分劃尺上讀出對(duì)應(yīng)測(cè)量點(diǎn)的讀數(shù)值li。按照公式 (4)計(jì)算目鏡式示值誤差 δl:
δl=li-l (4)
式中:li———分劃尺的讀數(shù)值,mm;l———對(duì)應(yīng)測(cè)量點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺的實(shí)際尺寸,mm。目鏡式示值誤差應(yīng)在被檢分劃尺在視場(chǎng)的全長(zhǎng)范圍內(nèi)不少于均勻分布的3個(gè)位置進(jìn)行,取最大誤差值作為校準(zhǔn)結(jié)果。
圖像式示值誤差
首先在工作臺(tái)上放置相對(duì)應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺,調(diào)焦至顯示屏目標(biāo)清晰。然后用測(cè)量程序測(cè)量出標(biāo)準(zhǔn)玻璃線紋尺刻線間的距離,應(yīng)在視場(chǎng)范圍內(nèi)不少于均勻分布的3個(gè)位置進(jìn)行。取最大誤差值作為校準(zhǔn)結(jié)果。
校準(zhǔn)結(jié)果的表達(dá)
經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的金相顯微鏡出具校準(zhǔn)證書(shū)。校準(zhǔn)證書(shū)應(yīng)包含校準(zhǔn)結(jié)果、示值誤差以及不確定度。校準(zhǔn)證書(shū)應(yīng)符合jjf1071—2010中5.12的要求。
復(fù)校時(shí)間間隔
復(fù)校時(shí)間間隔根據(jù)實(shí)際使用的具體情況確定,建議一般不超過(guò)1年。