無塵室之構(gòu)成
無塵室的構(gòu)成是由下列各項系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的),否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的無塵室:
(1)天花板系統(tǒng):包括吊桿(ceiling rod)、綱梁(i-beam或u-beam)、天花板格子梁(ceiling grid或ceilingframe)。
(2)空調(diào)系統(tǒng):包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風車等。
(3)隔墻板(partitional wall):包括窗戶、門。
(4)地板:包括高架地板或防靜電舒美地板。
(5)照明器具:包括日光燈、黃色燈管等。
無塵室之建筑主體構(gòu)造,一般是用鋼筋或,但無論是何種構(gòu)造,必須滿足如下之條件:
a.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕;
b.不易產(chǎn)生微塵粒子,且很難附著粒子;
c.吸濕性??;
d.為了維持室內(nèi)之濕度條件,熱絕緣性要高;