國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)對(duì)表面粗糙度測(cè)量的要求是實(shí)現(xiàn)三維測(cè)量，而光散射原理正好與之吻合，
它可實(shí)現(xiàn)表面的面積采樣，同時(shí)所形成的散射光帶光能分布和表面微觀形貌高度變化有較清晰的對(duì)應(yīng)關(guān)系。利用光散射法測(cè)量表面粗糙度可滿足快速動(dòng)態(tài)、高精度、無(wú)損檢測(cè)及抗干擾性能強(qiáng)的要求。還有不少學(xué)者提出以其作為表面粗糙度基本儀器來(lái)改變基于傳統(tǒng)觸針式儀器的形狀，從而推動(dòng)新原理、新儀器的發(fā)展，滿足生產(chǎn)實(shí)際的需要?；谶@種原理，人們提出了一種激光散射法在線檢測(cè)表面粗糙度的方法。
圖11.10所示為激光散射法在線檢測(cè)表面粗糙度的光學(xué)原理圖，半導(dǎo)體激光器1輸出光功率為3 mw、波長(zhǎng)為780 nm的光束，該激光束通過(guò)偏振片3成為線偏振光，偏搌方向平行于紙面，分光鏡11將光束一分為二，其中反射光占大部分。經(jīng)分光鏡11反射的一束光為測(cè)量光束，該光束經(jīng)平面鏡4反射，調(diào)整分光鏡11和平面鏡4的角度，使該光束經(jīng)平面鏡4反射后，后由圖11.10所示的位置入射到測(cè)量透鏡6(廠=40 mm，d=30 mm)上，經(jīng)測(cè)量透鏡6會(huì)聚后，到達(dá)工件表面，經(jīng)工件表面散射后，形成與工件表面加工紋理方向垂直的散射帶。