1、接好電源線，確保電源為220vac/50hz
2、接通電源，將電流電阻量程置于 104 檔,電壓量程置于10v，然后開(kāi)機(jī)。
3、調(diào)零，系統(tǒng)在開(kāi)機(jī)后開(kāi)路狀態(tài)會(huì)自動(dòng)調(diào)零。
4、連接線路，接好測(cè)試線，將測(cè)試線將主機(jī)與屏蔽箱連接好，測(cè)體積電阻時(shí)測(cè)試按鈕撥到rv邊，測(cè)表面電阻時(shí)測(cè)試按鈕撥到rs邊。然后開(kāi)機(jī)。
5、選擇合適的測(cè)量電壓，電壓選擇開(kāi)關(guān)在后面板，注意，在測(cè)試過(guò)程中不要隨意改動(dòng)測(cè)量電壓，可能因電壓的過(guò)高或電流過(guò)大損壞被測(cè)試器件或測(cè)試儀器;
6、測(cè)試：
6.1、選擇測(cè)試樣品種類：固體、液體或者粉末。
6.2、選擇固體測(cè)量之后，如果測(cè)量體積電阻率，在對(duì)應(yīng)方框內(nèi)輸入材料厚度，測(cè)試結(jié)果可以直接顯示體積電阻和體積電阻率。如果測(cè)量表面電阻，不需要輸入表面積參數(shù)，系統(tǒng)能夠直接顯示電阻和表面電阻率。選擇液體和粉末時(shí)不需要輸入?yún)?shù)。
6.3、點(diǎn)擊開(kāi)始測(cè)量，測(cè)量時(shí)從低檔位逐漸拔往，每撥一次稍停留1～2秒以使觀察顯示數(shù)字， 當(dāng)被測(cè)電阻大于儀器測(cè)量量程時(shí)，電阻表顯示“1”，此時(shí)應(yīng)繼續(xù)將儀器撥到量程更高的位置，當(dāng)測(cè)量?jī)x器有顯示值時(shí)應(yīng)停下，當(dāng)前的數(shù)字乘以檔次即是被測(cè)電阻值。當(dāng)有顯示數(shù)字時(shí)不要再往更高次檔撥，否測(cè)儀器會(huì)過(guò)量程，機(jī)內(nèi)保護(hù)電路開(kāi)始工作，儀器測(cè)量準(zhǔn)確度會(huì)下降。
6.4、測(cè)量結(jié)束，點(diǎn)擊實(shí)驗(yàn)結(jié)束。
7、測(cè)試完畢將電阻電流量程拔至“104 ”檔，電壓量程調(diào)至10v后關(guān)閉電源，每測(cè)量一次均應(yīng)將量程開(kāi)關(guān)撥回到104“調(diào)零”檔的量程位置以免開(kāi)機(jī)或測(cè)量端短路時(shí)而損壞儀器。
8、測(cè)量電流及1015ω以上超高電阻的測(cè)量應(yīng)用測(cè)量電流后用歐姆定律以電壓除以電流計(jì)算電阻的方法，詳見(jiàn)8.5節(jié)內(nèi)容。
9、體積電阻和表面電阻轉(zhuǎn)換，在測(cè)試過(guò)程中，使用屏蔽箱在進(jìn)行體積電阻和表面電阻轉(zhuǎn)換時(shí)，必須把電源關(guān)閉后進(jìn)行檔位轉(zhuǎn)換，否則會(huì)導(dǎo)致電壓沖擊到主機(jī)無(wú)法顯示或損壞。