在超精密加工過(guò)程中，環(huán)境振動(dòng)對(duì)加工精度和表面質(zhì)量有較大的影響。3050加工中心環(huán)境振動(dòng)的煩擾，不只會(huì)引起機(jī)床本體的振動(dòng)，而且更重要的是會(huì)引起切削刀具與被加工零件間的方位改動(dòng)，后者將直接反映到被加工零件的加工表面質(zhì)量上。因而有必要設(shè)置功用優(yōu)秀的隔振設(shè)備。隔振分為無(wú)源隔振和有源隔振，其等效模型。
無(wú)源隔振3050加工中心這種隔振辦法不需要系統(tǒng)以外的動(dòng)力設(shè)備支撐隔振設(shè)備工作。3050加工中心傳統(tǒng)的隔振一般都是選用具有一定剛度k和阻尼x的隔振元件的無(wú)源隔振。有源隔振，如圖1b。這種隔振辦法需要系統(tǒng)以外的動(dòng)力設(shè)備支撐隔振設(shè)備工作。其原理是經(jīng)過(guò)傳感器將所要消除的振動(dòng)信號(hào)精確地檢測(cè)出來(lái)，然后經(jīng)過(guò)反響系統(tǒng)將所測(cè)信號(hào)進(jìn)行一定處置，3050加工中心輸出反響量k1并去控制執(zhí)行機(jī)構(gòu)，使所發(fā)作的激振力f抵消振動(dòng)煩擾，抵達(dá)消除振動(dòng)的目的。
這篇文章在哈爾濱工業(yè)大學(xué)研制的以空氣彈簧作為隔振元件的超精密機(jī)床上進(jìn)行有源隔振實(shí)驗(yàn)研討。隔振理論分析無(wú)源隔振無(wú)源隔振系統(tǒng)模型所示，3050加工中心由牛頓第二定律有為隔振臺(tái)振動(dòng)位移、速度、加速度分別為環(huán)境振動(dòng)位移、速度。