產(chǎn)品
自動化晶圓處理 > 檢查工具 > wpr-單晶圓展示器-旋轉(zhuǎn)
描述
自動單晶圓展示器設(shè)計用于將晶圓呈現(xiàn)給操作員以進(jìn)行檢查或從晶圓盒中取出晶圓以及用于宏觀檢查應(yīng)用。wpr 可用于晶圓翻轉(zhuǎn)（反轉(zhuǎn)）晶圓 180°，用于背面應(yīng)用。專為 iso 等級 3（fs209e 等級 1）設(shè)計；抗靜電結(jié)構(gòu)。
wpr 的特點：
旋轉(zhuǎn)升降葉片允許從一個操作員位置進(jìn)行完整的正面和背面晶圓檢查。
規(guī)格
晶圓尺寸76, 100, 150, 200
電源要求220vac 至 24vdc 3 安培 電源單獨出售
產(chǎn)品尺寸16寬 x 14長 x 21高
重量50磅
附加信息
裝運(yùn)重量220磅
裝運(yùn)尺寸15 × 12 × 20 英寸
wpr 可用于晶圓翻轉(zhuǎn)（反轉(zhuǎn)）晶圓 180°，用于背面應(yīng)用。專為 iso 等級 3（fs209e 等級 1）設(shè)計；抗靜電結(jié)構(gòu)