納米位移臺/壓電位移臺/壓電平移臺/壓電納米位移臺
納米位移臺即為可產(chǎn)生納米級步進位移的位移平臺,精度在納米級。“壓電”是指由壓電陶瓷作為驅(qū)動源,分多種驅(qū)動方式,如直驅(qū)式、放大機構(gòu)式、馬達式。三者相比,響應(yīng)速度快的為直驅(qū)式結(jié)構(gòu)的壓電納米位移平臺,行程較大的是壓電馬達式壓電納米位移平臺,可達毫米、厘米甚至米量級。
直驅(qū)式機構(gòu)-壓電納米位移臺
直驅(qū)式機構(gòu)的壓電納米位移臺具有多種外觀,如柱形、環(huán)形、平臺型等。結(jié)構(gòu)如下圖所示。柱形更適于單軸運動、單螺紋負載固定、空間受限的應(yīng)用。而平臺型可輸出1至3維的位移,適于單軸或多軸的位移要求的應(yīng)用。
參數(shù)舉例
型號:p66.xy
運動軸:x、y
位移范圍:34µm/軸
承載能力:7kg
參數(shù)舉例
型號:pst150/10/60vs15
運動軸:z
位移范圍:57µm
推力:2300n
放大式機構(gòu)-壓電納米位移臺
放大式機構(gòu)的壓電納米位移臺是通過分析、設(shè)計特殊鉸鏈結(jié)構(gòu),將壓電陶瓷產(chǎn)生的位移進行放大輸出,放大倍數(shù)自由設(shè)計,一般輸出范圍可在幾百微米甚至毫米。外觀可分為平臺式和橢圓結(jié)構(gòu)式。
參數(shù)舉例
型號:p11.xyz
運動軸:x、y、z
位移范圍:110µm/軸
承載能力:600g
橢圓結(jié)構(gòu)
參數(shù)舉例
型號:p06.x40a
運動軸:z(收縮)
位移范圍:41µm
出力:125n
型號:p06.x500r
運動軸:z(膨脹)
位移范圍:560µm
出力:100n