微區(qū)x射線熒光光譜分析技術是對大尺寸不規(guī)則、不均勻樣品、甚至微小包裹體進行高靈敏度、非破壞性的元素分析方法。
1. 矩形的真空室設計，樣品不需制備，可直接放入艙內檢測；
2. 優(yōu)化的x射線光路，小光斑直徑降到20µm范圍內，且提供高的束流；
3. 多種儀器配置：可以選擇增加了x射線管或探測器；
4. 通過使用真空模式（低噪音泵）和slew窗口，獲得輕質元素的高靈敏度；
5. easyload功能：方便樣本的裝入、取出，測量同時可以通過兩個影像系統(tǒng)查看樣品被測位置，自動聚焦autofocus，樣品臺移動和其它操作由鼠標控制。