解釋電漿清洗機的工作特點和等離子體鞘現(xiàn)象的振蕩特點

發(fā)布時間:2024-04-03
解釋電漿清洗機的工作特點和等離子體鞘現(xiàn)象的振蕩特點:
電漿清洗機遍布于3c數(shù)碼、電信通訊、車輛、棉紡、生物醫(yī)療等各個領(lǐng)域。諸如數(shù)碼產(chǎn)品,lcd/oled屏幕的噴涂清理,pc塑膠框的噴涂清理,外殼和按鍵鈕等零部件表層的油印清理,pcb表層的除膠除污清洗,鏡片膠水粘貼前的清理,電線電纜的噴涂處理,汽車產(chǎn)業(yè)車燈罩、剎車片、車門密封膠條的噴涂清理,機械制造業(yè)金屬零件的很小無害清潔清理,鏡片鍍涂前的清理,各類工業(yè)材料的接合和密封清理,三維物體表面的修飾清理,等等。
crf電漿清洗機的工作原理:
電漿清洗機包括一個反應(yīng)腔,電源和一套真空泵。將樣品放入反應(yīng)腔內(nèi),真空泵開始抽氣至一定真空度,電源啟動便產(chǎn)生等離子體,氣體通過反應(yīng)腔內(nèi)的等離子體進入反應(yīng)腔內(nèi),與樣品表面發(fā)生反應(yīng),產(chǎn)生揮發(fā)性副產(chǎn)物,并由真空泵抽出。
電漿清洗機等離子在宏觀上是電中性:一般情況下,等離子呈現(xiàn)電中性,但在受某種干擾時,電漿內(nèi)部會出現(xiàn)局部電荷分離,產(chǎn)生電場。諸如,將帶正電荷的小球置于等離子體中,它會吸引等離子體中的電子并排斥這些離子,從而在小球周圍形成一個帶負(fù)電的球形“電子云”。
電漿清洗機等離子體具有振蕩特性:一般等離子體處于平衡狀態(tài)時,其密度分布在宏觀上是均勻的,但在微觀上則是有升有降,且不均勻,且密度波動具有振蕩性。
電漿清洗機等離子體有鞘層現(xiàn)象:由于等離子體初處于準(zhǔn)電中性狀態(tài),若是在等離子體中懸掛一塊不導(dǎo)電的絕緣襯底,則該襯底中的離子和電子都會朝著該襯底移動,單位時間內(nèi)到達該襯底的電子數(shù)量遠遠大于離子數(shù)量。達到基底的電子部分與離子復(fù)合,其余部分是離子,因此,基底表面會產(chǎn)生負(fù)電荷積累,從而形成基底表面負(fù)電勢。這個負(fù)電勢會排斥后續(xù)的電子,同時吸引正離子。當(dāng)基片的負(fù)電勢達到一定的程度,離子流就會變成電子流。由于基底是負(fù)電位,因此由正離子組成的空間電荷層,即離子鞘層,組成的空間電荷層,即離子鞘層。
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