自動聚焦粗糙度平面度3d測量 oec sh
自動聚焦顯微鏡特色：
non-destructive, non-contact measurement非接觸
high resolution and precision 高分辨率高精度極小測點
small measuring spot, high lateral resolution側(cè)向分辨率高
coaxial measurement, no shading effects 同軸光無陰影
high sampling rate 高速掃描高采樣率
integrated microscope for convenient 集成顯微鏡可方便
selection of measurement position 選取測量位置
典型應(yīng)用：
鏡頭輪廓及側(cè)面高度3d 三維形貌、粗糙度樣品表面工藝的測量(工具, 汽缸, 成品檢驗等.)注塑模具測量(micro-)小零件尺寸量硅片平面度的測量r&d and q&a in mems 微機電系統(tǒng)測量r&d and q&a 醫(yī)療器械測量 catheters, prostheses etc.)
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