現(xiàn)代社會各類文件的主體內(nèi)容通常以印刷為主，通過靜電復印或者激光打印的文件存在變造的可能，如簽字蓋章后將文件部分文字機械擦刮后再打印或者更換文件部分頁次偽造文件等。因此在作為物證時往往需要對文件的真實性的作出鑒別。
x射線光電子能譜儀是常用的表面分析技術(shù)，靜電復印或者激光打印的文字圖像的碳粉性狀符合x射線光電子能譜儀對樣品穩(wěn)定、無腐蝕性、無磁性、無揮發(fā)性、固態(tài)等要求，因此x射線光電子能譜儀可對打印或復印的文件表面元素進行定性和定量分析，以鑒別文件是否經(jīng)過變造處理。
文件使用的激光打印機或者靜電復印機不同，打印或者復印時使用的油墨不同，會使不同文件字跡含有的元素出現(xiàn)差別，即使元素有相同的部分，元素的強度也有區(qū)別。在檢測時，只需要在文件上剪取約1cm2的碳粉字跡作為樣品直接固定于樣品臺上，再按照x射線光電子能譜儀常規(guī)操作進行檢測，即可獲得樣品的xps圖譜數(shù)據(jù)和xps成像。對比不同樣品的檢測結(jié)果就可以看出不同樣品是否由同一臺機器打印或者復印。
利用x射線光電子能譜儀鑒別文件造假成本較高，但是靈敏度高，結(jié)果可靠性強。