?激光干涉儀是一種高精度、非接觸式的測(cè)量工具，廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)。本文將從原理、構(gòu)成部件、優(yōu)勢(shì)和應(yīng)用方面介紹激光干涉儀。
1.原理
激光干涉儀利用激光作為測(cè)量信號(hào)，通過(guò)分束器將一個(gè)激光束分成兩條相互平行的束線，并對(duì)其中一條進(jìn)行調(diào)制形成參考線；另外一條經(jīng)過(guò)反射后與參考線在檢測(cè)器上發(fā)生干涉，由此可得到被測(cè)試物體表面形態(tài)信息。這種方法可以獲得很高的測(cè)量精度，通?？蛇_(dá)10納米級(jí)別甚至更小。
2.構(gòu)成部件
一個(gè)完整的激光干涉儀主要由三個(gè)組件構(gòu)成：發(fā)射源（即發(fā)出探測(cè)信號(hào)的裝置）、分束器以及檢測(cè)系統(tǒng)（包括探頭和檢查單元）。其中最重要的組件就是顯示屏和數(shù)據(jù)處理模塊，在工業(yè)自動(dòng)化等特定行業(yè)中也會(huì)加入電腦程序來(lái)提供更準(zhǔn)確、可靠且靈活性較強(qiáng)地使用方法。
3.優(yōu)劣比較
激光干涉儀具有很高的測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性，能夠?qū)崿F(xiàn)微米級(jí)別的精度，另外還可以檢測(cè)不同材料、形狀的物體。與常用的其他測(cè)量工具比較起來(lái)，它更加靈敏可靠，而且可以進(jìn)行非接觸式測(cè)試提供了極大地便利。
4.應(yīng)用領(lǐng)域
由于其高精度、非接觸式等優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)，激光干涉儀被廣泛應(yīng)用于各個(gè)行業(yè)：汽車(chē)制造、機(jī)床制造、船舶工程以及大規(guī)?？茖W(xué)研究等領(lǐng)域。在生產(chǎn)流程中也有很多發(fā)揮：表面缺陷檢測(cè)、尺寸精密控制和平均值校準(zhǔn)等方面都適合使用這種技術(shù)。
5.總結(jié)
在當(dāng)今日益變化著競(jìng)爭(zhēng)環(huán)境下通過(guò)引入目前先進(jìn)技術(shù)如激光干涉法對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量要求越來(lái)越高的情況下,氖氙（he-ne）或者二極管（dpss）為基礎(chǔ)構(gòu)建成立起來(lái)一整套支持系統(tǒng)以提供全面完備有效服務(wù)成為必然選擇。