hmds烘箱結(jié)構(gòu)，hmds涂布機(jī)原理
hmds，即六甲基二硅胺，是半導(dǎo)體光刻工藝中一種常見(jiàn)的耗材。hmds是一種易揮發(fā)的化學(xué)品，傳送到工藝腔的hmds是以氣態(tài)形式存在的，其均勻附著在晶圓表面，形成hmds膜層。
hmds烘箱結(jié)構(gòu)，hmds涂布機(jī)原理
現(xiàn)有技術(shù)中，涂布過(guò)程一般先在氮?dú)獾谋Ｗo(hù)下對(duì)晶圓進(jìn)行加熱，同時(shí)通入hmds進(jìn)行涂布，但由于前期氮?dú)獾耐ㄈ耄瑸榱吮ＷChmds的濃度及擴(kuò)散效果，必須增加hmds的通入量，才能使其濃度達(dá)到一定范圍，這樣勢(shì)必造成hmds的浪費(fèi)，且hmds為有害氣體，過(guò)高濃度的排放會(huì)對(duì)環(huán)境造成嚴(yán)重破壞。
hmds烘箱，hmds涂布機(jī)技術(shù)參數(shù)
工作室尺寸
350×350×350、450×450×450、850×850×850（mm）可自定義
材質(zhì)
外箱采用冷軋板噴塑或304不銹鋼，內(nèi)箱采用316l醫(yī)用級(jí)不銹鋼
溫度范圍
rt+10-250℃
真空度
≤133pa（1torr）
潔凈度
class 100，設(shè)備采用無(wú)塵材料，適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境
控制儀表
人機(jī)界面
擱板層數(shù)
2層
hmds控制
可控制hmds藥夜添加量
真空泵
旋片式油泵（可選配進(jìn)口無(wú)油泵）
保護(hù)裝置
hmds低液位報(bào)警，hmds自動(dòng)添加，超溫保護(hù)，漏電保護(hù)，過(guò)熱保護(hù)等