潔凈室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)及氣流形式凈化的定義
凈化（潔凈）技術(shù)及玷污（微玷污）控制技術(shù)，上常用玷污控制一詞，即對(duì)加工或處理對(duì)象在加工處理過程中由于玷污物質(zhì)的存在，影響對(duì)象的成功率，而對(duì)到達(dá)對(duì)象表面的玷污物質(zhì)進(jìn)行控制后，能提高對(duì)象的成功率，此有效控制玷污物質(zhì)（亦包括加工或處理對(duì)象帶有對(duì)人體有害的玷污物質(zhì)需進(jìn)行處理及隔離）的技術(shù)。
潔凈室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)（美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209e）
等級(jí) >=0.5um塵粒數(shù) >=5um塵粒數(shù)
顆/立方英尺 顆/立方米 顆/立方英尺 顆/立方米
100 100 3,500 / /
1,000 1,000 35,000 7 250
10,000 10,000 350,000 70 2,500
100,000 100,000 3,500,000 700 25,000
潔凈室氣流形式及其特點(diǎn)
氣流形式 適用潔凈級(jí)別 優(yōu)點(diǎn) 缺點(diǎn)
垂直層流底回風(fēng) 10級(jí),100級(jí) 1 效果很*
2 運(yùn)轉(zhuǎn)即成穩(wěn)定狀態(tài)
3 粉塵堆集及再飄浮極少
4 管理容易 1 設(shè)備造價(jià)非常高
2 擴(kuò)展比較困難
3 維護(hù)費(fèi)用高
垂直層流側(cè)回風(fēng) 10級(jí),100級(jí) 1 效果*
2 運(yùn)轉(zhuǎn)即成穩(wěn)定狀態(tài)
3 粉塵堆集及再飄浮極少
4 管理容易 1 設(shè)備造價(jià)非常高
2 擴(kuò)展比較困難
3 維護(hù)費(fèi)用高
混流方式 100級(jí),1000級(jí) 1 結(jié)構(gòu)比較簡單
2 效果較好 1 造價(jià)較高
2 運(yùn)行,維護(hù)費(fèi)較高
亂流方式 1000級(jí),
10000級(jí),
100000級(jí) 1 結(jié)構(gòu)簡單
2 造價(jià)低
3 擴(kuò)展方便 1 易產(chǎn)生渦流
2 不易管理