如同研磨一樣，拋光用于去除之前步驟殘留的損傷材料。這可通過使用較細(xì)的研磨顆粒來實(shí)現(xiàn)。拋光可分為兩種不同的工藝
金剛砂拋光
金剛砂是一種可達(dá)到材料去除率和平直度的磨料。當(dāng)前沒有哪種磨料可實(shí)現(xiàn)與此相媲美的結(jié)果。由于金剛石的硬度，其可輕松切削所有材料和相位。
在拋光期間，較小的碎屑尺寸有望獲得無劃痕和變形的樣品表面。如果使用的是彈性更好的布料和尺寸更小的顆粒，例如3或1μm，則碎屑尺寸幾乎為零。降低對樣品施加的力也有助于減少拋光期間產(chǎn)生的碎屑尺寸。
氧化物拋光：
某些材料，尤其是柔軟和易延展的材料，需要使用氧化拋光執(zhí)行最后的拋光，以獲得質(zhì)量。顆粒尺寸約為0.04μm，ph約為9.8的硅膠展現(xiàn)出的拋光效果?；瘜W(xué)活性和精細(xì)、溫和的磨損效果的組合可打造出無劃痕、無變形的樣品。
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