等離子清洗機(jī)在封裝工藝中的應(yīng)用:在微電子封裝的生產(chǎn)過(guò)程中,由于指印、助焊劑、各種交叉污染、自然氧化等,器件和材料表面會(huì)形成各種沾污,包括有機(jī)物、環(huán)氧樹(shù)脂、光刻膠、焊料、金屬鹽等。這些沾污會(huì)明顯地影響封裝生產(chǎn)過(guò)程中的相關(guān)工藝質(zhì)量。使用等離子體清洗機(jī)可以很容易清除掉生產(chǎn)過(guò)程中所形成的這些分子水平的污染,保證工件表面原子與即將附著材料的原子之間緊密接觸,從而有效地提高引線鍵合強(qiáng)度,改善芯片粘接質(zhì)量,減少封裝漏氣率,提高元器件的性能、成品率和可靠性。如在鋁絲鍵合前采用等離子體清洗機(jī),鍵合成品率提高10%,鍵合強(qiáng)度一致性也有提高
等離子清洗機(jī)plasma cleaner又被稱(chēng)為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場(chǎng)合,通過(guò)等離子清洗機(jī)的表面處理,能夠改善材料表面的潤(rùn)濕能力,使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作,增強(qiáng)粘合力、鍵合力,同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂
等離子清洗機(jī)應(yīng)用于液晶顯示器,集成電路,印刷電路板,發(fā)光二級(jí)管,貼片、bga、引線框、平板顯示器的蝕刻和清洗,等離子清洗機(jī)用于集成電路的清洗可顯著提高鍵合強(qiáng)度,降低電路失效的可能性,等離子清洗機(jī)能將殘留的光刻膠、溶液殘留物、樹(shù)脂和其他有機(jī)污染物可以短時(shí)間內(nèi)去除
點(diǎn)銀膠前使用等離子清洗機(jī)可以使工件表面粗糙度及親水性大大提高,有利于銀膠平鋪及芯片粘貼同時(shí),可大大節(jié)省銀膠的使用量降低成本。
芯片粘接前處理,對(duì)芯片與封裝基板的表面采用等離子清洗機(jī)來(lái)處理,有效增加其表面活性,改善粘接環(huán)氧樹(shù)脂在其表面的流動(dòng)性,提高芯片和封裝基板的粘結(jié)浸潤(rùn)性,減少芯片與基板的分層,改善熱傳導(dǎo)能力,提高ic封裝的可靠性、穩(wěn)定性,增加產(chǎn)品的壽命。
等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用有等離子刻蝕、顯影、去膠、封裝等。等離子清洗機(jī)的刻蝕工藝在半導(dǎo)體集成電路中,既可以刻蝕表層的光刻膠,也能夠刻蝕下層的氮化硅層
關(guān)鍵詞:等離子清洗機(jī) 芯片 顯示器 電路板