主要制備方法支持膜法：粉末狀材料的形貌觀察、顆粒度測定、結(jié)構(gòu)與成分分析。
復(fù)型法：觀察金相組織、斷口形貌、第二相形態(tài)等。
超薄切片法：生物組織、較軟的無機材料等。
薄膜試樣（電解雙噴減薄，離子減薄，hb等）：
樣品內(nèi)部的組織、結(jié)構(gòu)、成分、位錯組態(tài)等。
制備方法-納米粉末樣品支持膜法適用范圍：納米顆粒（防止樣品從銅網(wǎng)縫隙中漏出）
支持膜種類： 微柵膜 fib微柵膜 純碳酬膜 多孔碳膜 quantifoil規(guī)則多孔膜 c-flat純碳多孔支持膜等制備過程： 制備支持膜：在銅網(wǎng)上覆蓋一層有機膜后噴碳 選擇分散劑：根據(jù)樣品性質(zhì)選擇，常用無水乙醇 分散：使用超聲波或攪伴將粉末分散成懸浮液 液滴上支持膜（兩種方法）： 滴樣：用鑷子夾持覆有支持膜的銅網(wǎng)，用滴管滴幾滴懸浮液在支持膜上，保持夾持狀態(tài)至干燥（推薦） 撈?。河描囎訆A持載網(wǎng)浸入溶液撈取液滴（缺點：雙面掛樣)制備關(guān)鍵：樣品粉末能否在支持膜上均勻分布
注意事項：確保實驗過程中未帶入污染物
制備方法-塊狀樣品超薄切片法適用范圍：生物組織、較軟的無機材料等,
制備流程：1.取材
2.固定
3.漂洗
4.乙醇或丙酮系列脫水
5.滲透
6.包埋
7.聚合
8.修塊
9.切片
10.撈片染色
11.電鏡觀察
注意箏項：迅速：短時間內(nèi)取樣，投入固定液
體積?。核悠敷w積不超過lmm3
輕：輕輕操作，使用鋒利器械，避免拉、據(jù)、壓
準確：所取部位有代表性
低溫：在0~4〇c內(nèi)操作
離子減薄法適用范圍：用于非金屬材料或非均勻金屬
制備過程： 預(yù)處理：按預(yù)定取向切割成薄片，機械拋光減薄到幾十um , 把邊長/直徑切割至<3mm。 裝入離子轟擊裝置： 初期：采用較大的電壓、束流、角度（約一半時間） 中后期：減小電壓，束流，角度，直到樣品出孔（孔邊緣極薄，對電子束透明）。 拋光：獲得平坦而寬大的薄區(qū)。特點：成功率高，但耗時。
電解雙噴減薄法適用范圍：只能制備金屬試樣，大塊金屬。
樣品準備： 磨拋厚度均勻，避免穿孔偏 樣品保證清潔 多準備一些試樣，試合適的條件制備步驟： 樣品接正扱、電解液接負扱，電解液從兩側(cè)噴向樣品 樣品穿孔后，自動停機 獲得中間薄，邊緣厚，呈面窩狀的tem薄膜樣品電解液選擇：根據(jù)樣品，不損傷儀器
優(yōu)點：條件易控制，快速，重復(fù)性好，成功率較高。
其它注意事項： 適宜低溫：利于減少氧化腐蝕污染 快速取樣/清洗：防止污染 注意溫度：電解拋光是放熱過程 注意速流：電解液噴射速流不宜過大 注意防護：強酸堿腐蝕，甲醇傷眼，高氮酸易爆 修整樣品：可使用離子減薄法 防止電解液被污染 避免正負電扱短路
聚焦離子束法（fib）適用范圍：適用于半導(dǎo)體器件的高精度切割與線路修復(fù)。
原理：使用來源于液態(tài)金屬鎵的離子束，通過調(diào)整束流強度，快速、精細地加工區(qū)域。
1.銑削階梯法預(yù)處理：銑削出兩個反向的階梯槽，中間留出極薄的tem試樣
標記：刻蝕出定位標記
定位：用離子束掃描定位標記，確定銑削區(qū)域
銑削：自動或手動完成鐵削加工
2削薄法（h-bar)制備過程：
使用機械切割和研磨等方法將試樣做到50-100pm厚
使用fib沉積一層pt保護層
使用fib銑削掉兩側(cè)的材料
復(fù)型技術(shù)基本原理：用對電子束透明的薄膜（碳、塑料、氧化物薄膜）把材料表面或斷口的形貌復(fù)制下來的一種間接樣品制備方法。
適用范圍：在電鏡中易起變化的樣品和難以制成薄膜的試樣。
樣品要求：非晶態(tài)、分子尺寸小、導(dǎo)電性、導(dǎo)熱性良好，耐轟擊，有足夠的強度和剛度。
復(fù)型法分類：塑料一級復(fù)型、碳一級復(fù)型、塑料-碳二級復(fù)型、萃取復(fù)型。
塑料一級復(fù)型：樣品上滴特定溶液，溶液在樣表面展平，多余的用濾紙吸掉，溶劑蒸發(fā)后樣品表面留下一層l00nm左右的塑料薄膜。
碳一級復(fù)型：使用真空鍍膜裝置在樣品表面蒸鍍一層碳膜，樣品放入真空鍍膜裝置中，把樣品放入配好的分離液中進行電解或化學(xué)分離后分離出的碳膜即可用于分析。
塑料-碳二組復(fù)型：簡單地說，在塑料一級復(fù)型上再制作碳復(fù)型，就是二級復(fù)型。分辨率與塑料一級復(fù)型相當，不破壞樣品，耐電子束照射，復(fù)型帶有重金屬投影。
幾種復(fù)型的特點 塑料一級復(fù)型：操作；分辨率較低；電子束轟擊下易發(fā)生分解和燒蝕；不適合表面起伏較大的樣品，金相組織的分析效果好，圖像與金相顯微組織有*的對應(yīng)性。 碳一級復(fù)型：分可達2nm ,但剝離較難，破壞樣品。 塑料-碳二級復(fù)型：搡作較復(fù)雜，分辨率與塑料一級復(fù)型基本相同，但其剝離起來容易，不破壞原有試樣，尤其適應(yīng)于斷口類試樣。