20世紀(jì)80年代，人們發(fā)現(xiàn)在x射線能量范圍內(nèi)，真空管內(nèi)的機(jī)械作用能夠產(chǎn)生光；2008年，一批來自美國(guó)加州大學(xué)洛杉磯分校的物理學(xué)家受到美國(guó)研究計(jì)劃局資助，對(duì)這一發(fā)現(xiàn)進(jìn)行了進(jìn)一步的擴(kuò)大和研究，并證明了他們能夠以一種有效且可重復(fù)的方式通過摩擦發(fā)光現(xiàn)象產(chǎn)生x射線。研究結(jié)果表明，利用摩擦發(fā)光產(chǎn)生x射線對(duì)于降低x射線產(chǎn)生的復(fù)雜性和成本具有非常深遠(yuǎn)的影響。人們能夠通過機(jī)械性的將材料擠壓到一起再將其拆分以達(dá)到摩擦起電效應(yīng)，進(jìn)而在目標(biāo)陽極釋放掉足夠多的電子以產(chǎn)生必要數(shù)量的x射線進(jìn)行x射線熒光分析操作。簡(jiǎn)言之就是利用一套機(jī)械性體系取代高壓電源來產(chǎn)生x射線。這項(xiàng)創(chuàng)新能夠降低整個(gè)x射線熒光光譜儀的成本達(dá)50%左右，并且有助于提升手持式x射線熒光光譜儀的使用范圍。 這就是的x射線熒光光譜儀的雛形。
x 射線管是工作在高電壓下的真空二極管，其包含有兩個(gè)電極：一個(gè)是用于發(fā)射電子的燈絲，作為陰極；另一個(gè)是用于接受電子轟擊的靶材，作為陽極。兩級(jí)均被密封在高真空的玻璃或陶瓷外殼內(nèi)。施加到該燈絲上的電流使其加熱至1000攝氏度，因此它能發(fā)射出電子。一旦燈絲發(fā)射出電子，在燈絲和陽極之間施加高電壓以加速電子在燈絲與陽極之間的移動(dòng)。加速電子與陽極之間的相互作用即可以引起x射線的產(chǎn)生。陽極材料中的元素類型決定了發(fā)射出來x射線的能量大小。
x射線熒光光譜儀
x射線探測(cè)器x射線探測(cè)器主要是用于測(cè)量目標(biāo)樣品發(fā)出的x射線熒光，目前市場(chǎng)上已經(jīng)有多種不同類型的x射線熒光分析探測(cè)器可用。能量色散x射線熒光光譜分析技術(shù)通常使用的為固態(tài)探測(cè)器，例如si-pin探測(cè)器或者硅漂移探測(cè)器（ssd）等。每種類型的探測(cè)器在不同的應(yīng)用方面都具有不同的優(yōu)劣勢(shì)，因此并不存在好與差之分，只需根據(jù)具體需求進(jìn)行選擇即可。
x熒光光譜儀x射線管
分辨率和靈敏度是x射線探測(cè)器兩個(gè)重要的性能參數(shù)。一般情況下，分辨率越高意味著探測(cè)器可以檢測(cè)更多能量水平之間的差異；靈敏度越高意味著探測(cè)器能夠檢測(cè)到更多的輻射量子。
計(jì)算機(jī)處理計(jì)算機(jī)主要起到管理用戶界面和通訊的作用，此外還具有存儲(chǔ)、檢索和顯示數(shù)據(jù)等功能。x射線熒光光譜儀能夠發(fā)展為移動(dòng)的手持式設(shè)備，在某種程度是因?yàn)橛?jì)算機(jī)功能能夠駐留在較小的嵌入式應(yīng)用處理器上，處理器變小使得整體體積也因此變小。由摩擦效應(yīng)產(chǎn)生x射線的新型xrf技術(shù)摩擦發(fā)光是一種通過機(jī)械作用（如拉動(dòng)、撕裂、刮擦、壓碎或者不同材料間的摩擦等）而產(chǎn)生光的現(xiàn)象。例如，當(dāng)敲碎蔗糖晶體時(shí)或者剝離膠帶時(shí)就能觀察到這種現(xiàn)象；這種現(xiàn)象從很久之前的古文明時(shí)期就被人們所發(fā)現(xiàn)。